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平面静压气浮轴承频 域内动态特性研究 , , 气浮轴承在工作时 会受到外界干扰源的干扰 产生微小的振 。 , , 动 由于干扰源的频率分布很广 为此 需要分析轴承的频率响应特 , 。 性 即分析频域内的动态刚度和阻尼系数
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