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泓域咨询/刻蚀设备产业园项目投资决策报告 刻蚀设备产业园项目 投资决策报告 xxx有限责任公司 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 第一章 背景及必要性 8 一、 反应离子刻蚀 8 二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向 8 三、 大力推进区域开放合作 11 四、 项目实施的必要性 14 第二章 市场分析 16 一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 16 二、 离子束刻蚀 17 第三章 项目概况 19 一、 项目名称及项目单位 19 二、 项目建设地点 19 三、 可行性研究范围 19 四、 编制依据
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