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精密离子减薄仪 精密离子减薄仪 Precision Ion Polishing System 型号 : 691 主要功能 : 主要用于陶瓷、半导体、金属等材料的透射电子显微镜 (TEM)样品 的制备。 -5 主要技术参数 : 极限待机真空度 :3 ×10Pa;轰击电压 :0-6 keV; 离子枪转 角 :0~ o?10; 样品台转速 :1~6 rpm /min; 试样厚度 d? 30 μm 工作原理 : 在高真空条件下，离子枪提供高能量的氩离子流，对样品表面以某一入射角度 连续轰击，当氩离子流的轰击能量大于样品表层原子结合能时，样品表面原子发生 溅射。连续不断的溅射，最后获得所需要的薄膜样品。 操作注意事项 : 1( 必须经管理人员同意方可使用 ; 2( 样品在离子减薄前要通过机械研磨或凹坑，厚度要小于 30 μm。 3( 样品台一 定要水平 ( 沿 X 轴方向 ) 放置到样品室中。 oo4( 在离子减薄过程中，每个样品前 60%的时间用 10 角，中间 20%的时间用 7 角， o 最后 20%的时间用 4 角。 5( 离子枪每工作 1 小时一定要停止 15 分钟，如果连续工作会烧坏离子枪。 6( 离子束调节开关 (Ion Beam Modulator) 要在 Double 状态，切忌在 off 状态。 主机示意图 : 1. 左枪电流 ; 2. 束能量 (keV)/ 前级气压 (Torr); 3. 右枪电流 ; 4. 左枪气流 控制 ; 5. 左枪气阀 开关 ; 6. 右枪气阀开关 ; 7. 右枪 气流控制 ; 8. 真空表 ; 9.MDP 指 示灯 ; 10. 前级气压指示灯 ; 11.DP 测试按钮 ; 12. 循环终止 重设按钮 ; 13. 主电源开关 ; 14. 束状态指示灯 ; 15. 离子束调节 器开关 ;16. 角度状态指示 灯 ;17. 气锁放气指示灯 ; 18. 气 锁防气开关 ; 19. 离子枪电压控 制 ; 20. 计时器开关按钮 ; 21. 计 时器设置按钮 ; 22. 剩余时间显 示 ; 23. 转速控制 ; 24. 样品升降 控制 ; 25. 气锁抽气开关 ; 26. 气 锁真空指示灯