滁州华瑞微电子科技有限公司半导体IDM芯片项目环境影响报告书.pdfVIP

目 录 1 概 述 1 2 总 则9 3 建设项目概况及工程分析29 4 环境现状调查与评价44 5 环境影响预测与评价62 6 环境保护措施及其可行性论证 126 7 环境影响经济损益分析 147 8 环境管理与监测计划 150 9 环境影响评价结论与要求 160 1 概 述 1.1 项目由来 晶圆产业是信息产业的核心与基础，也是现代社会的主要推动力之一，其发展关系到一个 国家科技与工业水平、是一个国家竞争力的整体展现。晶圆制造集多种高新技术于一体，是当 前信息化产业的基础，属资本密集、技术密集、产业发展快和投资风险高的产业，对于电子产 业与经济发展具有强大的推动作用，被视为21 世纪信息化社会的重要基础。因此，世界各国 将此产业视为国家级关键产业。 近年来，随着个人计算机、通讯、网通设备与数字家电等新增需求的影响，促使晶圆市场 需求亦逐年扩大。生产基地也由美国、日本向中国内地快速转移。晶圆产业是现代高科技的基 础，也是现代社会的主要推动力之一。今天许多与生活密切相关的事物，包括计算机、手机、 互联网、导航仪、影碟机、微波炉、智能卡、传感器、医疗器械、航天飞机以及尖端武器导弹 等，均归功于先进的半导体技术与器件。大多数电子系统的功能是处理及存储数据，而这一功 能通常以内存作为主要载体来实现。随着信息与媒体数据量呈几何级数的增加，内存技术及存 储器将扮演着愈来愈重要的角色。当前晶圆正处于技术变革的转折期，为我国打破主流晶圆领 域空白、实现跨越发展提供了难得的战略机遇期。因此，抓住产业发展的“窗口”机遇期，加紧 产业布局，解决晶圆供应链安全、产业安全问题，实现晶圆安全可控、保障国家信息安全的任 务十分急迫。 滁州华瑞微电子科技有限公司 （以下简称“滁州华瑞”）位于滁州市南谯经济开发区双庙 路和兴隆路交叉口西南侧，主要生产6 寸功率器件晶圆，项目产品主要用于各类电子整机产品 及制造装备中。项目一期建成后，可形成72 万片/年6 寸功率器件晶圆。滁州华瑞通过南谯区 发展改革委于 2020 年 8 月 31 日对本项目进行了备案，项目备案编码为 “2020-341103-35-03-031027 ” （见附件）。 根据《建设项目环境影响评价分类管理名录(2021 年版)》，本项目属于三十六、计算机、 通信和其他电子设备制造业，81、电子元件及电子专用材料制造-半导体材料制造；电子化工 材料制造，需要编制环境影响报告书。据此，滁州华瑞委托我公司为该项目编制环境影响报告 书。在接到滁州华瑞微电子科技有限公司的委托后，我公司立即安排技术人员进行现场踏勘， 收集项目有关资料。在充分研读有关文件和资料基础上，通过对该项目的工程分析，对建设地 1 区环境现状调查，以及本项目对环境影响的预测与评价，编制出本环境影响报告书，呈报环境 保护管理部门审批。 1.2 项目特点 （1）本项目为新建项目，主要从事6 寸功率器件晶圆的生产。 （2 ）本项目采用成熟工艺，包括硅片清洗、氧化、退火、光刻、坚膜、剥底膜、刻蚀、 去胶、掺杂、化学气相沉积、物理气相沉积、合金、减薄等。 （3 ）本项目产生的废气主要为酸性废气、碱性废气、有机废气等，其中酸性废气通过 POU+1 套碱液喷淋吸收塔处理；碱性废气通过酸液喷淋吸收塔处理；有机废气通过沸石转轮 浓缩燃烧系统出来。废水主要为酸碱废水、含氟废水、有机废水、研磨废水、氨氮废水，进行 分类收集、分类处理后，达标后排入南谯新区污水处理厂。 1.3 环评工作过程 ◆2020 年9 月2 日，我公司受滁州华瑞微电子科技有限公司委托，承担《滁州华瑞微电 子科技有限公司半导体IDM 芯片项目环境影响报告书》的编制工作。 ◆2020 年9 月8 日，该项目环评第一次公示在网站上发布。 ◆2020 年9~10 月，根据项目单位提供的技术资料等进行工程分析，确定评价思路、评价 重点及各环境要素评价等级。 ◆2020 年10 月，委托监测单位对项目区进行大气环境、地表水环境、地下水环境、土壤 环境、声环境质量现状监测。 ◆2020 年 11 月~2021 年3 月，项目课题组根据分工进行各专题编写、汇总，提出污染防 治对策并论证其可行性，汇总、校核等完成项目环境影响