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2021-02-22 发布于天津
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第章射线光电子能谱分析引言固体表面分析业已发展为一种常用的仪器分析方法特别是对于固体材料的分析和元素化学价态分析目前常用的表面成分分析方法有射线光电子能谱俄歇电子能谱静态二次离子质谱和离子散射谱分析主要应用于物理方面的固体材料科学的研究而的应用面则广泛得多更适合于化学领域的研究和由于定量效果较差在常规表面分析中的应用相对较少但近年随着飞行时间质谱的发展使得质谱在表面分析上的应用也逐渐增加本章主要介绍射线光电子能谱的实验方法射线光电子能谱也被称作化学分析用电子能谱该方法是在六十年代由瑞典科学家教授

Page Page PAGE # 第 18 章 X 射线光电子能谱分析引言固体表面分析业已发展为一种常用的仪器分析方法，特别是对于固体材料的分析和元素化学价态分析。目前常用的表面成分分析方法有： X 射线光电子能谱 (XPS), 俄歇电子能谱 (AES)，静态二次离子质谱 (SIMS) 和离子散射谱 (ISS)。AES 分析主要应用于物理方面的固体材料科学的研究，而 XPS 的应用面则广泛得多，更适合于化学领域的研究。 SIMS 和 ISS 由于定量效果较差，在常规表面分析中的应用相对较少。但近年随着飞行时间质谱( TOF-SIMS )的发展，使得质谱在表面分析上的应用也逐