GB/T 34504-2017蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法.pdf

ICS77.040 H 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT34504 2017 蓝宝石抛光衬底片表面 残留金属元素测量方法 Measurementmethodforsurfacemetalcontaminationonsa hire pp polishedsubstratewafer 2017-10-14发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT34504 2017 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分技术委员会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 。 本标准起草单位 天通控股股份有限公司 : 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 康森 宋岩岩 邵峰 沈瞿欢 於震杰 Ⅰ / — GBT34504 2017 蓝宝石抛光衬底片表面 残留金属元素测量方法 1 范围 本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为 以内的残留金属元素的全反射 光荧光光谱测 5nm X 试方法。 、 ( ) ( ) ( ), 本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的 在元素周期表中11Na~92U 号 除去铝和氧 9 / 2 15 / 2 。 且面密度在 10atomscm ~10 atomscm 范围内元素的定量测量 其他用途蓝宝石抛光片表面残 留金属元素的测量可参照本标准执行。 2 规范性引用文件