GB/T 34177-2017光刻用石英玻璃晶圆.pdf

ICS81.040.30 Q35 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT34177 2017 光刻用石英玻璃晶圆 uartzlasswaferforlithorah Q g g py 2017-09-07发布 2018-08-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT34177 2017 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由中国建筑材料联合会提出。 ( / ) 。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会 SACTC447归口 : 、 、 本标准起草单位 中国建材检验认证集团股份有限公司 中建材衢州金格兰石英有限公司 长沙韶 、 、 。 光铬版有限公司 中国建筑材料科学研究总院 国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 吴洁 王京侠 王友军 李弋舟 花宁 刘焕敏 肖颂华 聂兰舰 张浩运 杨晓会 、 、 。 杨学东 孔敏 张应语 Ⅰ / — GBT34177 2017 光刻用石英玻璃晶圆 1 范围 ( ) 、 、 、 、 本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆 以下简称石英玻璃晶圆 的术语和定义 分类 要求 试验方法 、 、 。 检验规则及标志 包装 运输和贮存 、 、 ( )、 ( ) 本标准适用于半导体集成电路 光通讯 微机电系统 MEMS 光电器件和发光二极管 LED 等光 刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。 2 规范性引用文件 。