SQC-310系列薄膜镀层控制仪用户手册-INFICON.pdf

SQC-310 系 列 薄 膜 镀 层 控 制 仪 用 户 手 册 版号 6.10 © 版权 INFICON 公司 2009 0-1 安全信息 在安装, 运行或维修设备前请阅读本手册. 切勿安装替代件, 或对产品执行任何未授权的 修改. 将产品返回 INFICON 维修确保其安全特征的持久性. 安全符号 警告: 提醒注意可能引起人身伤害或死亡的程序, 实践, 或条件. 警示: 提醒注意可能引起设备损坏或数据永久丢失的程序, 实践, 或条件.. 在使用这个产品前参阅手册中的全部警告或警示信息, 以避免人身伤害或设备 损坏. 存在危险电压. 接地符号. 机箱接地符号. 等电位接地符号. 0-2 保用信息 如按本手册中的说明使用, 本 INFICON 产品对材料和工艺缺陷实行自发货日起两年的 保用期. 在保用期内, INFICON 将决定对查验损坏的产品进行检修或更换. 保用限制 除材料或工艺缺陷外, 由于误用或更改产品引起的损坏从而必须检修的产品不属于本保 用范围. 无其它保证, 表达或暗示, 包含为特殊目的适用或适销的隐含保证. 在任何情况 下, INFICON 对违反本有限保证导致的或接着发生的其它索赔无责. 返回政策 买方可按任何理由在发货后的 30 天内返回新状态下的本产品. 往返所需的全部运输费用 均由买方负担. INFICON Two Technology Place Syracuse, NY 3057 USA 电话: +1.315.434.1100 传真: +1.315.437.3803 0-3 目 录 Ta ble of 第 1 章 – 快速开始 1-1 1.0 引言 . . . 1-1 1.1 面板 . . 1-2 1.2 后板 . . 1-3 1.3 系统连接 . . . . . . . 1-4 1.4 安装 . . 1-5 1.5 菜单 1-6 1.6 薄膜沉积综述 . . . . . . . . . 1-8 1.7 建立过程 . . . . . . 1-9 1.8 沉积膜层 . . . . . 1-12 第 2 章 – 操作 . . 2-1 2.0 引言 . . 2-1 2.1 定义 2-1 2.2 定义膜系 . . . 2-2 2.3 定义过程 . . . . . 2-6 2.4 定义膜层 . . . 2-8 2.5 传感器和源设置 . . 2-9 2.6 运行过程 . . . . . . .. 2-11 2.7 调谐环 . . 2-15 2.8 故障查找 . . . 2-17 第 3 章–菜单 3-1 3.0 引言 . . . 3-1 3.1 主屏, 菜单 1 . . . . 3-2 3.2 主屏, 菜单 2 . . . 3-3 3.3 主屏, 菜单 3 . . . . 3-4 3.4 快速编写菜单 3-5 3.5 过程菜单 . . 3-7 3.6 编写膜层菜单 3-9 3.7 膜层复制, 插入和删除菜单 .. ... . . . . . 3-12 3.8 膜系菜单 3-15 3.8.1 编写膜系菜单 3-16 3.8.2 膜系前提条件处理菜单 3-19 3.8.3