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§1-２　基本技术指标 一. 测量范围 仪器最大测量位置与起始测量位置之间所代表 被测量的值。是个有效工作范围。 例如：游标卡尺 起始测量值 0mm 最大测量值 150mm 测量范围 =150－0=150mm 二.示值范围 仪器读数装置所能代表的最大被测量值。又叫量程。 绝对测量中，测量范围与示值范围是一回 事。 比较测量中（相对测量中），测量范围可 以远远大于示值范围。 例如： 接触式干涉仪示值范围4.5μm; 测量范围 可以达到几十毫米。 三.仪器的放大倍数 光学、机构、电路各部分放大率之积： 例：液面监测系统 灵敏阈大小应与分划值匹配（比分划值小一点）； 灵敏阈大，分划值小没意义； 灵敏阈太小，引起示值不稳定。 §1-3 基本组成 一.光电系统 光电系统有可见光系统、紫外系统、红外系统（近红外、中红外、远红外）。 不同的系统配以不同的光源、光学系统、探测器。 二．光电检测系统 （长度、角度、光谱测量） 1. 照明（自发光、可见、不可见） 2.基准：玻璃刻尺； 光波波长（1米=1533164.13×λR） λR=0m（镉红光波长）； 光栅（栅距）； 晶振（时间、频率） 3.瞄准系统 4.读数系统 游标，电子读数 5.信号处理系统 人脑、眼；电子及计算机处理系统 6.计算机计算与检测控制系统（CPU与接口） 7.显示部分（LED、LCD等） 8.精密机械定位与运动系统： 抗振动、抗恶劣环境。 * * 立柱上下整体可调 触头示值范围4..5μm 5mm 5mm标准块规 被测 块规 4.998mm 示值2μm a b l l’ CCD AD 灵敏阈：能引起仪器示值发生可感知变化的最小被测量。（又称灵敏限度。） 结论：M ↗ ；灵敏阈S↙；灵敏度（1/S）↗。灵敏度与系统的光机电算精度有关。 待测量 光学系统 探测器 显示 输出 信号处理 CPU 存储 控制 几何成像 干涉 衍射 偏振 扫描 全息 光谱 莫尔 （望远、 （应变） 显微、 摄影） S1 S2 接触、非接触