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第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 29 5 Vol.29 No.5 年 月 , 2017 5 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Ma 2017 y 品质因数对薄膜体声波谐振器振荡器 频率稳定度的影响* , 1 2 1 3 13 尹汐漾 , 袁明权 , 韩 宾 , 吕军光 , 王宇航 ( , ; , ; 1.西南科技大学 信息工程学院 四川 绵阳 621010 2.中国工程物理研究院 电子工程研究所 四川 绵阳 621999 , , ) 3.中国科学院 高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室 北京 100049 : ( ) , ( ) ( 摘 要 在薄膜体声波谐振器 振荡器中 振荡器的有载品质因数 和 的品质因数 FBAR QL FBAR Q ) 。 , 值 均与振荡器的频率稳定度有关 为了研究这两种品质因数对 FBAR振荡器频率稳定度的影响 在 COM- , ( SOLMultihsics软件中建立了FBAR的多物理场模型 通过频域仿真和 MBVD ModifiedButterworthVan py - ) , , , 模型参数拟合 得到了 模型参数 并在 软件中建立了 模型电路 通过 参数仿真结 Dke MBVD ADS MBVD S y ; , 合求取 值的 法得到了不同损耗对应的 值 再建立基于 架构的振荡器 通过谐波平衡仿真得到 Q Bode Q Pierce , 。 : 了相位噪声 通过分别改变 和 得到了二者对 振荡器频率稳定度的影响 结果表明 频率稳定度随
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