真空溅镀[一].pp.pptVIP

真空濺鍍   目 的 溅镀的目的是在基材上镀上金属镀层(deposit)，改变基材表面性质或尺寸。例如赋予金属光泽美观、物品的防锈、防止磨耗、提高导电度、防ESD、润滑性、强度、耐热性、耐候性、热处理之防止渗碳、氮化 、尺寸错误或磨耗之零件之修补。 相 关 定 义 真空：真空系指低于该地区大气压的稀簿气体状态 真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 真空度单位：通常用托（Torr）为单位，1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱 辉光放电:是指气体在电场作用下被击穿而产生电离运动 何謂真空濺鍍   在一個通電的高真空密閉容器中，注入少許惰性氣體(一般) ，氣體將部分被離子化，並於容器內形成高濃度電漿，此電漿中的離子被負電極所吸引而撞擊安裝於電極上面的靶材，進行能量轉移並將靶材原子一顆顆擠出來，附著於基材上，即稱為真空濺鍍。溅镀源由固态变为电浆态。 何为真空蒸镀 在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。 特点：基片及镀材必须加热，膜厚不是很均匀；可作多层膜；蒸镀源由固态变为气态 何为电镀？ 电镀就是利用电解的方式使金属或合金沉积在工件表面，以形成均匀、致密、结合力良好的金属层的过程，就叫电镀。 简单的理解，是物理和化学的变化或结合。 普通的说：电与化学物质（化学品）的结成。 溅镀/电镀/蒸镀工艺的比较 超声波清洗技术 定义：超声波清洗机主要由超声波信号发生器换能器及清洗槽组成。超声波信号发生器产生高频振荡信号，通过换能器转换成每秒几万次的高频机械振荡，在清洗液（介质）中形成超声波，以正压和负压高频交替变化的方式在清洗液中疏密相间地向前辐射传播，使清洗液中不断产生无数微小气泡并不断破裂，这种现象称之为“空化效应”。气泡破裂时可形成1000个大气压以上的瞬间高压，产生一连串的爆炸释放出巨大能量，对周围形成巨大冲击，从而对工件表面不断进行冲击，使工作表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到工件表面净化的目的。 超声波清洗工艺流程 热浸洗 → 超声波粗洗 → 超声波精洗 →喷淋→ 超声波漂洗 → 压缩空气吹干 → 热风烘干等过程。 以上工艺可据产品结构及表面清洁度作调整。 超声波清洗注意事项 超声波功率密度：功率密度越高,空化效果越强，清洗效果越好,清洗速度越快。对于难清洗的工件宜采用大功率密度，对于精密工件宜采用小功率密度。 超声波频率:频率越低,空化越好,频率越高,折反射效果越好。对于简单表面宜采用低频，对于复杂表面及深孔盲孔宜采用高频。 （20KHz/28KHz/40KHz/80KHz/0.8MHz） 清洗温度:超声波在40℃～70℃时空化最好。温度越高，越有利于污物分解，但当温度达到70℃～80℃以后，便影响超声波发挥作用，降低清洗效果。 清洗时间:清洗时间越长效果越好，特殊材料除外。 清洗溶液（介质）的种类:根据产品对象不同，选择不同的清洗液，以达到最好的清洗效果。 清洗液的PH值：清洗前必须作确认，根据不同的产品可作调整。 水质：水质的好与坏，直接影响清洗的效果。 真空溅镀原理 溅镀原理如图： 主要利用辉光放电（glow discharge)将氩（Ar)气离子撞击靶材(target)表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜好，但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化，造成靶与氩气离子间的撞击机率增加，提高溅镀速率。一般金属镀膜大都釆用直流溅镀，而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀，基本的原理是在真空中利用辉光放电（glow discharge)将氩气离子撞击靶材表面，电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面，这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。 溅镀特点 金属、合金或绝缘物均可做成薄膜材料，且在特定条件下可将多元复杂的靶材作出同一组成薄膜。 靶材输入电流及溅射时间可以控制。 溅射粒子不受重力影响，靶材位置可自由按排。 基材与膜的附着强度是一般蒸镀的10倍以上 靶材可根据机台作出不同的形状。 真空濺鍍技術   好的作業環境： 環境是影響真空鍍膜的首要條件，其包括作業區的溫濕度控制，空氣中微粒子的含量；甚至真空中氣體的成分；若無法有效管制將可能造成膜質的嚴重缺陷；當然濺鍍設備的材質也是不可忽略的考量重點. 真空濺鍍技術   抽氣系統： 真空幫浦種類極多，各有其使用功能，也沒有好壞之分， 端視薄膜功能與抽氣量而異；一般