ELA基础介绍.ppt

ELA基础知识介绍 Array-MFG 2015/09/10 Locfe南城 Outline 1. ELA与LTPS制程 2. 准分子激光退火系统 3. ELA工艺技术 4. ELA工艺测试 ELA简介 准分子就是一种处于激发态的复合粒子，在标准状态下，即在基态时，它处于分离状态，而在激发态处于分子状态。 常见的准分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr* ELA简介 为什么选用准分子激光？ 准分子激光对应的紫外波段，a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数 紫外光的注入深度较小，可以减小激光对玻璃基板的作用 ELA与LTPS制程 ELA与LTPS制程 ELA与LTPS制程 2. 准分子激光退火系统 (2) 准分子激光原理、结构及参数 (1) 准分子激光退火系统的结构 (3) 光学系统构成简介 (4)退火腔结构简介 ELA系统基本组成 准分子激光退火系统 TCZ JSW ELA System overview 准分子激光退火系统-ELA System overview 准分子激光原理、结构及参数-激光器原理 准分子激光原理、结构及参数-激光器原理 准分子激光原理、结构及参数-Laser tube design 准分子激光原理、结构及参数-Laser tube design 准分子激光原理、结构及参数 准分子激光原理、结构及参数-Laser architecture 准分子激光原理、结构及参数-Gas lifetime 准分子激光原理、结构及参数-参数 准分子激光原理、结构及参数-参数 Peak to Peak Energy Fluctuation 准分子激光原理、结构及参数-参数 Pulse duration Pulse duration 准分子光学系统简介 光学系统示意图 准分子光学系统简介 Monitor system示意图 准分子光学系统简介 Beam Short Axis Long Axis Short Axis Slope 准分子光学系统简介 退火腔结构简介 退火腔室结构 退火腔结构简介 Scan Process 3. ELA工艺技术 (1)晶化机制 (2)主要参数 多晶硅晶化过程 ELA工艺技术-晶化机制 ELA工艺技术-主要参数 Energy Density Vs Melt regime ELA工艺技术-主要参数 Overlap Vs Pitch Overlap Vs. Grain Size ELA工艺技术-主要参数 ELA工艺技术-主要参数 CVD Thin Film Concern ELA工艺技术-主要参数 Dehydrogen 4. ELA工艺测试 (2) SEM测试 (3) AFM测试 (1) 宏观检查 (4) ｕ-PCD测试 ELA工艺技术-宏观检查 宏观检查-Mura ELA工艺技术-SEM测试 ELA工艺技术-AFM测试 ELA工艺技术-AFM测试 Surface Maphology Mechanism ELA工艺技术-ｕ-PCD测试