GB/T 29190-2012扫描探针显微镜漂移速率测量方法.pdf

ICS 17. 180.99 A 60 中华人民共和国国彖标准 GB/T 29190—2012 Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope 2012-12-31 发布 2013-06-01 实施 GB/T 29190—2012 目 次 ,、/d • 、- T 刖有 I 引言 n 1范围1 2规范性引用文件1 3 术语和定义、缩略语 1 4 测量方法 2 5 要求2 5. 1 仪器要求2 5.2环境要求 2 6 测量步骤 2 7测量报告 3 附录A （规范性附录 ）图像相关分析法 4 附录B （规范性附录 ）特征点法 7 附录C （规范性附录 ）非周期光栅法9 附录D （资料性附录 ）原子光栅法 12 附录E （资料性附录 ）测量方法比较 14 参考文献15 GB/T 29190—2012 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1. 1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国科学院提出并归口。 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)归口。 本标准起草单位：中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院。 本标准主要起草人:黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一。 T GB/T 29190—2012 引 言 扫描探针显微镜（Scanning Prob Microscope,以下简称SPM）是纳米科学与技术中的主要工具之 一 。对于具有纳米级以至原子级分辨力的SPM,其时间稳定性与仪器的设计、操作环境和使用等密切 相关 。作为SPM的重要规格参数,漂移速率的大小直接关系着SPM的使用性能 。例如，无失真图像 的连续获取、样品局域物化特性的测量、样品表面动态特性的实时观测、微纳装配和操纵等 。此外，漂移 速率的大小对于评价仪器也有重要指导意义 。目前，许多SPM配置漂移补偿模块或闭环控制模块 ；尽 管漂移速率大幅降低，但漂移依然存在 。因此,和z方向漂移速率的定义和漂移速率测量 方法的规范化具有重要意义° 本标准给出了 和w方向漂移速率的测量方法 ，以便于制造商在仪器规格中提供漂移 数据，帮助用户表征仪器漂移特性。 n GB/T 29190—2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法 1范围 本标准规定了 SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描 图像的漂移速率测量基本方法。 本标准适用于0.01 nm/s到10 nm/s的漂移速率测量 。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T