GB/T 34085-2017电子工业用气体　三氟甲烷.pdf

ICS 71.100.20 G 86 £3© 中华人民共和国国家标准 GB/T 34085—2017 电子工业用气体三氟甲烷 Gas for electronic industry —Trifluoromethane 2017-07-31 发布 2017-11-01 实施 发布 GB/T 34085—2017 ■ r ■ —— 刖 弓 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。 本标准起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、 浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大 特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化T 股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人 ：陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠 、曲庆、方华、 王鸿 、崔学文、周朋云。 T GB/T 34085—2017 电子工业用气体 三氟甲烷 1范围 本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品 。它在电子工业等 离子蚀刻T-艺中作为蚀刻气体。 分子式:CHF:j0 相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190危险货物包装标志 GB/T 3723 T业用化学产品采样安全通则 GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.3气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T 7144气瓶颜色标志 GB/T 14193液化气体气瓶充装规定 GB 15258化学品安全标签编写规定 GB/T 16804 气瓶警示标签 GB/T 26571 特种气体储存期规范 GB/T 28726 气体分析氮离子化气相色谱法 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例 （2002版） 特种设备安全监察条例 （2009版） 3技术要求 三氟甲烷的质量应符合表1的要求。 表 1技术指标 项目 指标 三氟甲烷 （CHFs）纯度 （体积分数）/10-2 99.999 氧+氟 （Oz Ar）含量 （体积分数 1 氮 （N2）含量 （体积分数）/