GB/T 34091-2017电子工业用气体　六氟乙烷.pdf

ICS 71.100.20 G 86 £3© 中华人民共和国国家标准 GB/T 34091—2017 电子工业用气体六氟乙烷 Gas for electronic industry —Hexafluoroethane 2017-07-31 发布 2017-11-01 实施 发布 GB/T 34091—2017 ■1Z■ —1— 刖 百 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。 本标准起草单位:浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有 限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电 子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、天津长芦华信化工股份有限公司、 中昊光明化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：史婉君、廖恒易、杜汉盛 、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、 邓建平、李健、周鹏云。 T GB/T 34091—2017 电子工业用气体六氟乙烷 1范围 本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品 。主要在电子工业等离子蚀刻 工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。 分子式:C2F6o 相对分子质量：138.012 4（按2013年国际相对原子质量）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190危险货物包装标志 GB/T 3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T 5099钢质无缝气瓶 GB/T 5832.1气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法 GB/T 7144气瓶颜色标志 GB/T 14193液化气体气瓶充装规定 GB 15258化学品安全标签编写规定 GB/T 16804 气瓶警示标签 GB/T 26571 特种气体储存期规范 GB/T 28726 气体分析氮离子化气相色谱法 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例（2002年版） 特种设备安全监察条例（2009年版） 3技术要求 六氟乙烷的质量应符合表1的要求。 表 1技术指标 项 目 指标 六氟乙烷（C2F6）纯度 （体积分数）/107 99.999 氢 （比）含量 （体积分数）/10-6 0.5 （氧+氮