EBSD初级原理及简单应用.pptVIP

燕山大学 先进钢铁材料课题组 报告人：王明明 时 间：11月15日 EBSD初级原理及简单应用 1 EBSD基础知识 目 录 1 数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 2 数据分析软件(OIM Analysis)的使用 3 试样的制备 4 燕山大学 先进钢铁材料课题组 2 1.EBSD基础知识 燕山大学 先进钢铁材料课题组 1.1硬件 107 108 EDAX 3 1.EBSD基础知识 燕山大学先进钢铁材料课题组 强弱衍射锥与荧光板相交， 形成菊池带(Kikuchi ) 2dsinθ=nλ 参考《材料电子显微分析》，张静武，P51-54，91 1.2菊池花样 a b c 4 1.EBSD基础知识 燕山大学 先进钢铁材料课题组 镍样品菊池带 1.每个菊池带都可以指标化为产生该菊池衍射的晶面指数； 2.几个菊池带相交的点（菊池极）对应于晶带轴方向与荧光屏的交点， 这些点可指标化为晶带轴指数 。 1.2菊池花样 5 1.3菊池花样鉴定 1.EBSD基础知识 燕山大学 先进钢铁材料课题组 三条带 6 1.EBSD基础知识 燕山大学 先进钢铁材料课题组 置信度因子:CI（Confidence Index） CI越大，准确度越高。 此外，参与计算的条带数n越多，计算结果越准确。 对可能结果进行投票 1.3菊池花样鉴定 7 1.EBSD基础知识 燕山大学 先进钢铁材料课题组 确保正确率达到90%， CI＜0.1的删除 投票正确率与CI值关系曲线 CI＜1.0 1.3菊池花样鉴定 8 1.EBSD基础知识 燕山大学 先进钢铁材料课题组 1.线上的点由 替换成一条线； 2.用所有线的交点代替一条菊池带 Hough变化 1.4Hough变换 9 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 燕山大学 先进钢铁材料课题组 1 2 3 4 常用部分： 1.工作距离 与控制权； 3.相机设置； 4.图像采集； 5.菊池花样。 10 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 燕山大学 先进钢铁材料课题组 2.1设定工作距离 工作距离改变，花样中心随之改变。 设定： 1.样品台：预倾角30°； 2.工作距离(WD):15-22mm； 3.Stage倾转：40°； 4.插入相机。 70° 11 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 燕山大学 先进钢铁材料课题组 2.2相选择获取扫描照片 EBSD原理是测得的花样与 数据库中的花样进行对比， 因此首先应提供正确的相。 12 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 燕山大学 先进钢铁材料课题组 2.3相机设置：Binning 相鉴定 13 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 燕山大学 先进钢铁材料课题组 Image Processing Mode提供两种模式：标准Standard和增强Enhanced模式。 目的：扣除噪点，提升整体花样质量 Standard模式下 ①释放控制权； ②取消background subtraction复选框； ③调节Gain及 Exposure； ④获取背底； ⑤勾选background subtraction复选框。 2.3相机设置：扣背底 14 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 燕山大学 先进钢铁材料课题组 调节Gain及 Exposure过程 ①Gain目的是增大信号，但是增大信号的同时增加了噪点。 ② Exposure曝光时间越大，采集速率越小。 77fps扫描速度 0.8-0.9max占用处理器的百分比 2.3相机设置：扣背底 15 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 2.3相机设置：扣背底 16 燕山大学 先进钢铁材料课题组 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 2.3相机设置：扣背底 17 燕山大学 先进钢铁材料课题组 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的使用 2.4参数进一步优化（Hough） 目的： CI值更差条件下进行参数优化， 获得更高质量图像。 Binned Pattern Size Theta Step Size Max Peak Count Convolution Mask BPS TSS MPC CM 使用后恢复到标准参数 标准 96 1 7 9×9 优化 120 0.5/0.25 8/9 13×13 18 燕山大学 先进钢铁材料课题组 2.数据采集软件(OIM Data Collection)的