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杨娟等摇 基底对TiN O 太阳能选择性吸收薄膜性能的影响
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基底对 TiN O 太阳能选择性吸收薄膜性能的影响
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1 1,2 3 1,3
杨娟 ,范真 ,袁宁一 ,丁建宁
( 1.江苏大学 微纳米研究中心,镇江212013;2.江苏技术师范学院机械与汽车学院,常州213001;
3.常州大学 低维材料微纳器件与系统中心,常州213164 )
摇 摇 [摘摇 要]摇 采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/ TiN O/ Al 多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基
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的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。 采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀
多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能和反射率,研究了微结构对薄膜性能的影响。 结果表明:薄膜与铝
基的粘附性较好,基底表面形成多孔微结构能有效提高其光谱吸收率。
[关键词]摇 TiN O 薄膜;太阳能;光谱性能;粘附性;基底多孔结构
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[中图分类号]TG174.444;O484.4摇 摇 摇 [文献标识码]A摇 摇 摇 [文章编号]1001鄄3660(2013)03鄄0016鄄03
The Effect of Substrate on the Performance of
TiN O Solar Selective Absorbing Films
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1 1,2 3 1,3
YANGJuan ,FAN Zhen ,YUAN Ning鄄yi ,DINGJian鄄ning
(1.Micro/ Nano Science Technology Center,Jiangsu University,Zhenjiang212013,China;2.School of
Mechanical Automobile Engineering,Jiangsu Teacher University of Technology,Changzhou213001,China;
3.Low鄄dimension Material Micro/ Nano Device System Center,Changzhou University,Changzhou213164,China)
[Abstract]摇 The AlN/ TiN O/ Al multilayers were deposited on Al substrate and Cu substrate by magnetron sputtering
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technology andtheadhesionpropertiesbetweenthemultilayersandtwokindsof substrateswereinvestigatedrespectively andthe
reasonsof different adhesionof substrateswereanalyzed. PorousstructuresweremadeontheAl substrateby atwo鄄stepanodiza鄄
tion method,and then themultilayerswere deposited,andthe surfacemorphology,theoptical propertiesan
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