GB/T 26068-2018硅片和硅锭载流子复合寿命的测试　非接触微波反射光电导衰减法.pdf

ICS77.040 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT26068 2018 代替 / — GBT26068 2010 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 Testmethodforcarrierrecombinationlifetimeinsiliconwafersand — siliconinots Non-contactmeasurementofhotoconductivitdeca g p y y b microwavereflectancemethod y 2018-12-28发布 2019-11-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT26068 2018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 方法原理 ………………………………………………………………………………………………… 2 5 干扰因素 ………………………………………………………………………………………………… 2 6 仪器设备 ………………………………………………………………………………………………… 4 7 试剂 ……………………………………………………………………………………………………… 6 8 样品 ……………………………………………………………………………………………………… 6 9 测试步骤 ………………………………………………………………………………………………… 7 10 精密度…………………………………………………………………………………………………… 9 11 试验报告………………………………………………………………………………………………… 9 ( ) ………………………………………………………………… 附录 资料性附录 注入水平的修正 A 10 ( ) …………………………………………………………… 附录 资料性附录 注入水平的相关探讨 B