Langmuir探针测量低温等离子体参数特性实验-华南师范大学.PDFVIP

29 3 实 验 室 研 究 与 探 索 Vol . 29 No . 3 第 卷第 期 20 10 3 Mar . 20 10 年 月 RESEARCH AND EXPLORATION IN LABORATORY · · 实验技术 Langmuir 探针测量低温等离子体参数特性实验 ， 符斯列 陈俊芳 ( ， 5 10006 ) 华南师范大学物理与电信工程学院 广东广州 : Langmuir ， 摘 要 介绍了 探针测量等离子体参数特性的实验原理和方法 采用 Langmuir 。 ， 单探针诊断了电子回旋共振等离子体参数的分布特性 结果表明 在一 ， ， 。 Langmuir 定微波功率下 气压增加 等离子体密度趋于饱和 将 单探针测量等离子 ， 体特性实验引入高年级近代物理实验课程的综合创新实验 使得学生在动手实验 ， 的过程中接触到物理学科研究前沿领域的技术与知识 激发学生的创新意识和提 高创新能力。 :Langmuir ; ; 关键词 单探针 低温等离子体 特性诊断 中图分类号:O 434 . 14 文献标识码:A 文章编号:1006 － 7 167 (20 10 )03 － 0004 － 03 Experimental Teaching of Diagnosis of Low-Temperature Plasma by Single Langmuir Probe F U Si-lie ， CHEN Jun-f ang (School of Physics and Communication Engineering ，South China Normal University ，Guangzhou 5 10006 ，China) Abstract :The experimental principle and method of Langmuir probe measurement of plasma characteristic parameters were introduced . As an example ，a single Langmuir probe was used to diagnose the distribution characteristics of elec- tron cyclotron resonance plasma . The results show that plasma density tends to be saturated at a certain microwave power when gas pressure incre