GB/T 11068-2006砷化镓外延层载流子浓度　电容-电压测量方法.pdf

!# !!!#!$ $ $! ! ! # $ % ’ ’ ( ) * ! % ’ $$% ’% # ! # $ %%’( %)() !# $%’()*+ ,- ,./012 ( %)**+,- )./01+200+4)5+)**)0. 7040.-+1)4+8189:)..+0. 3 6 :81:014.)4+81;8*4)0(:)):+4)1:0-04=82 3 34 56 ’%(!($ ’%($$($ !# $% ’’(+,-./0/12 3 3 4 ! ’ ’ ( ) * 4 5 6 7 8 9 ! ! # !!#$ %# ! !! # $% ! #’ ()*+, -./01 23 24567 8 $9: ; %# $ ! # $$%’ $(’( ) !! =# $ ?@ A B #23 248 CDE F5GH IJK LM N O P Q 90 1 R ST U $V *+, -%./( ) W 9 % # $ X=# $Y Z[\ ] ^_‘ ’ =# $aG Wb c def g h 9ij 2k l \ mno pq ‘r s ( t u .%%0 -123 vw x /-%0!.-%09y1 ‘r s ( z {| }~ 9ij ! 2k # $ % \ ’ ( ) q mno p‘ r s ( ( /-%0 .%%0 -123 $%123 ! ! * + ,=# $ -. 9\ ’ /)0 1 92v 345‘ 6 789 C5: 7 8 ; -. y 1 C1= ?T @A BC %DE 89 %F GH-./01 Xy1IJ #K 56 LM N # x56 l 9-. y1 ( O( ,=# $J H 238 P $ 9QRwS % # $ T2U V WX Y Z