对主动抛光盘在加工-南京天文光学技术研究所.PDF

第 25 卷 　第 4 期 光 　学 　学 　报 Vol . 25 ,No . 4 2005 年 4 月 　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　 　 　　　Ap ril , 2005 A C TA O P TICA SIN ICA 文章编号 :(2005) 045258 对主动抛光盘在加工 、测量状态下盘面的变形 及提升的数学分析 高必烈 ( 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 , 南京 2 10042) 摘要 : 　用主动抛光盘磨制非球面是一个动态的过程 ,必须保证在计算机控制下 ,主轴的移动 、旋转 ,和抛光盘的旋 转 、倾斜 、变形及升降 , 以及主镜的旋转都步调一致 。推导出在模式中诸要点的位置 、速度 、加速度和时间的关系 , 并根据所加工的口径 9 10 mm ,焦比为 F/ 2 的抛物面主镜参量和所用主动抛光盘的参量分析 : 1) 主动抛光盘基板 的变形特性 ,即它的变形量 、变形的速度和加速度 , 以及近似公式与精确公式之间的差异 ;2) 主动抛光盘背面的三 个提升点运动规律 ,即它的升降量 、升降的速度和加速度 ;3) 主动抛光盘的变形量和它在差分变压器式线性微位移 ( ) ) 传感器 L VD T 测试架上所测得的测量量之间的关系 ;4 分析主动抛光盘的变形与提升的速度与加速度和抛光盘 沿横梁的运动速度 V 1 以及抛光盘自身的转速 V2 之间的关系和特性 。此分析是主动抛光盘的数学基础 ,它为主动 抛光盘的机械和电控设计提供了技术依据 ,为实现计算机控制下的 6 轴联动提供了保证 。 关键词 : 　应用光学 ; 非球面制造 ; 主动抛光盘 ; 抛光盘变形分析 ; 抛光盘升降与倾斜分析 中图分类号 : T H74 　　　文献标识码 : A Th e M a t h e m a t i c a l A n a l y s i s f o r t h e A ct i v e L ap D ef o r m a t i o n o n P r ocee di n g Co n di t i o n Gao Bilie ( N a t i on al Ast r on om ical Obser v a t or ies , N a nj i n g I n st i t u t e of Ast r on om ica l Op t i cs Tech n ol ogy , The Chi n ese Aca de m y of Scie n ces , N a nj i n g 2 10042) A bs t r a ct : 　Using active lap t o p olish an asp