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TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc390528696 第一章 综述 PAGEREF _Toc390528696 \h 1
HYPERLINK \l _Toc390528697 1.1 SiC陶瓷的基本性质 PAGEREF _Toc390528697 \h 1
HYPERLINK \l _Toc390528698 1.1.1 碳化硅的晶体结构 PAGEREF _Toc390528698 \h 1
HYPERLINK \l _Toc390528699 1.1.2 碳化硅的硬度及韧性 PAGEREF _Toc390528699 \h 1
HYPERLINK \l _Toc390528700 1.1.3 碳化硅的热膨胀系数和导热系数 PAGEREF _Toc390528700 \h 1
HYPERLINK \l _Toc390528701 1.1.4 碳化硅的化学稳定性 PAGEREF _Toc390528701 \h 1
HYPERLINK \l _Toc390528702 1.1.5 其它 PAGEREF _Toc390528702 \h 2
HYPERLINK \l _Toc390528703 1.2 SiC主要烧结方法及特点 PAGEREF _Toc390528703 \h 2
HYPERLINK \l _Toc390528704 1.2.1 无压烧结 PAGEREF _Toc390528704 \h 2
HYPERLINK \l _Toc390528705 1.2.2 热压烧结 PAGEREF _Toc390528705 \h 3
HYPERLINK \l _Toc390528706 1.2.3 热等静压烧结 PAGEREF _Toc390528706 \h 3
HYPERLINK \l _Toc390528707 1.2.4 反应烧结 PAGEREF _Toc390528707 \h 4
HYPERLINK \l _Toc390528708 1.3结论 PAGEREF _Toc390528708 \h 4
HYPERLINK \l _Toc390528709 1.4 SiC无压烧结陶瓷的现状 PAGEREF _Toc390528709 \h 4
HYPERLINK \l _Toc390528710 1.5 主要内容 PAGEREF _Toc390528710 \h 4
HYPERLINK \l _Toc390528711 第二章主要设备选型 PAGEREF _Toc390528711 \h 6
HYPERLINK \l _Toc390528712 2.1主要设备表 PAGEREF _Toc390528712 \h 6
HYPERLINK \l _Toc390528713 2.2原料及配比 PAGEREF _Toc390528713 \h 6
HYPERLINK \l _Toc390528714 2.3主要设备说明 PAGEREF _Toc390528714 \h 7
HYPERLINK \l _Toc390528715 2.3.1三维混料机 PAGEREF _Toc390528715 \h 7
HYPERLINK \l _Toc390528717 2.3.2行星球磨机 8
HYPERLINK \l _Toc390528718 2.3.3干压成型机 PAGEREF _Toc390528718 \h 9
HYPERLINK \l _Toc390528719 2.3.4冷等静压机 PAGEREF _Toc390528719 \h 10
HYPERLINK \l _Toc390528720 2.3.5真空烧结炉 PAGEREF _Toc390528720 \h 11
HYPERLINK \l _Toc390528721 2.3.6金属模具 PAGEREF _Toc390528721 \h 11
HYPERLINK \l _Toc390528722 2.3.7电子天平 PAGEREF _Toc390528722 \h 11
HYPERLINK \l _Toc390528723 2.3.8流速计 PAGEREF _Toc390528723 \h 12
HYPERLINK \l _Toc390528724 2.3.9抛光机 PAGEREF _Toc390528724 \h 12
HYPERLINK \l _Toc390528725 2.4工艺平面布置图 PAGEREF _Toc390528725 \h 13
HYPERLINK \l _Toc3
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