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OFSC-2013 基于多层石墨烯薄膜的F-P微腔声波传感器 A multi-layer graphene diaphragm based fiber-optic Fabry-Perot for acoustic measurement 马军靳伟何海律 香港理工大学 2013年5 月20 日 摘要 研究背景 多层石墨烯薄膜F-P微腔的制作 F-P微腔的声波测量 结论 2013/5/20 2 研究背景 强度调制型 J.N. Fields, et al, J. Acoust. Soc. Am. 67, 861(1980) 波长调制型 Y. Zhang, et al, IEEE Photon. Technol. Lett, 13, 618 (2001); 光纤气压/声 J.N. Fields, et al, J. Acoust. Soc. Am. 67, 861(1980) 波传感器 偏振调制型 Y. Zhang, et al, IEEE Photon. Technol. Lett, 13, 618 (2001); J.N. Fields, et al, J. Acoust. Soc. Am. 67, 861(1980) 相位调制型 Y. Zhang, et al, IEEE Photon. Technol. Lett, 13, 618 (2001); J.N. Fields, et al, J. Acoust. Soc. Am. 67, 861(1980) 基于F-P微腔的声波传感器 Capillary Diaphragm SMF 1 2 I : 入射光强; L : 腔长; 0 R and R : 光纤端面和膜片的反射率。 1 2 膜片: 反射面+气压感应部件 ∆P 气压灵敏度 (S) :
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