面向半导体制造过程中的缺陷数据集成与分析-计算机技术专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 面 向 半 导 面 向 半 导 体 制 造 过 程 中 的缺 陷 数 据 集 成 与 分 析 第 一 章 引 言 食占 — 雀梦 己 ! 性当. j 叮刁 一月户. J . 厂 1 第一节 选 题 依 据 和 研 究 意 义 半 导 体 制 造 过 程 相 当 复 杂 ，其 中 包 括 几 十 道 甚 至 于 上 百 道 工 艺 ，每 一 道 工 艺 都 可 能 由 于 制 造 工 艺 的 技 术 问题 或 者 机 台 污 染 的 问 题 在 晶 圆 表 面 产 生 缺 陷 ，从 而 影 响 生 产 良率 。良率 工 程 师 从 缺 陷 在 空 间 上 的 分 布 状 态 进 行 分 析 可 以 发 现 工 艺 问 题 提 升 制 程 水 准 ，例 如 通 过 聚 类 可 以减 少 缺 陷 分 布 的 密 度 : 通 过 重 复 位 置 可 以发 现 制 程 中 的 光 罩 问题 ; 通 过 每 道 工 艺 的 分 布 差 异 可 以 分 析 哪 些 是 前 层 的 缺 陷 ，哪 些 是 本 层 的 缺 陷 。 然 而 缺 陷 数 据 是 通 过 检 测 机 台产 生 的 文 本 文 件 ， 制 造 车 间 里 的 上 百 台 检 测 机 台之 间 对 晶 圆 的 定 位 基 准 也 有 所 偏 差 ，人 工 分 析 费 时 耗 力 。 所 以 设 计 开 发 一 套 自动 收 集 生 产 线 上 检 测 机 台所 产 生 的 文 本 文 件 ，通 过 挖 掘 有 益 于 分 析 的 数 据 ，经 过 转 换 ，形 成 统 一 的 、标 准 化 的 、可 供 用 户 直 接 分 析 并 可 做 二 次 开 发 的 信 息 集 成 系 统 就 显 得 十 分 重 要 了 。 论 文 研 究 根 据 半 导 体 制 造 企 业 基 于 缺 陷 数 据 建 立 数 据 仓 库 项 目，讨 论 数 据 仓 库 以 及 数 据 挖 掘 理 论 与 实 际 工 程 项 目应 用 的 结 合 ，探 讨 企 业 信 息 集 成 应 用 、信 息 抽 取 、异 构 数 据 源 集 成 、数 据 仓 库 系 统 架 构 、数 据 模 型 建 立 ，空 间 数 据 挖 掘 算 法 和 数 据 流 程 等 问 题 ，设 计 开 发 一 套 完 整 的 信 息 集 成 系 统 ，使 用 户 随 时 监 测 分 析 这 些 缺 陷 数 据 ，一 是 能 及 时 发 现 制 造 工 艺 上 的 问题 并 及 时 加 以 纠 正 ，二 是 能 及 时 发 现 由于 机 台 的 污 染 所 造 成 的缺 陷 能 及 时停 止 以免 对 后 续 的 晶 圆造 成 更 多 的 污 染 ， 对 提 高 产 品 良率 起 着 至 关 重 要 的 作 用 。 目前 在 半 导 体 业 界 ，类 似 于 这 样 的 缺 陷 数 据 分 析 系 统 多 为 商 业 软 件 ，各 有 利 弊 ，或 侧 重 于 操 作 应 用 ，或 侧 重 于 分 析 应 用 ，无 法 两 者 兼 顾 。另 外 ，这 些 商 业 软 件 的 算 法 和 应 用 也 不 能 根 据 用 户 需 求 自由 改 善 ，系 统 的 开 发 大 大 提 高 缺 陷 数 据 的 可 用 性 和 可 持 续 性 ，同 时 兼 顾 操 作 应 用 的 时 效 性 和 分 析 应 用 的 集 成 性 ，对 改 善 半 导 体 生 产 良率 具 有 重 大 意 义 。 第 二 节 本 文 研 究 内容 及 论 文 结 构 本 文 针 对 缺 陷 数 据 的 来 源 与 形 式 ，进 行 了信 息 集 成 技 术 的 分 析 和 探 讨 。文 章 首 先 确 定 了信 息 抽 取 的标 准 ，同 时 介 绍 了缺 陷 数 据 相 关 的核 心 算 法 ，如 重 复 位 置 点 、聚 类 、多 层 叠 加 ，并 对 其 结 果 进 行 了验 证 ; 然 后 基 于 抽 取 的 信 息 ，利 用 中 间 件 转 换 成 统 一 的 标 准 文 件 ; 最 后 利 用 构 建 基 于 缺 陷 数 据 的 数 据 仓 库 来 实 现 信 息 集 成 化 ，包 括 高 层 建 模 、中 间 数 据 模 型 、物 理 模 型 和 数 据 字 典 的 设 计 ; 同 时 本 文 从 面 面 向 半 导 体 制 造 过 程 中 的 缺 陷 数 据 集 成 与 分 析 第 一 章 引 言 环 境 配 置 、系 统 工 作 流 程 、应 用 集 成 等 方 面 对 整 个 系 统 进 行 构 建 ; 并 且 对 整 个 系 统 进 行 验 证 ， 提 出 仍 需 探 索 的 问 题