GB/T 16944-1997电子工业用气体　氮.pdf

GB/T 16944一1997 前 言 本标准是根据SEMIC3.28-92瓶《装VLSI级氮标准》(1995年版)制定的，在技术要求上与之等 同，检验方法与之等效。 在将SEMIC3.28-92转化为本国家标准时，结合我国的实际情况，将标准的适用范围扩大至液态 氮和管道输送氮，删去了SEMIC3.28-92中仅作为参考的物理常数和注释等内容，试验方法中增加了 抽样和氮气纯度两条，各项杂质含量的测定，分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测 限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异，并使标准的 技术内容更加完整。 本标准由中华人民共和国化学工业部提出。 本标准由化学工业部西南化工研究院归口。 本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院、北京普莱克斯实用气体有限公司。 本标准主要起草人:何道善。 中华人 民共和 国国家标准 电子工业用气体 氮 GB/T 16944一1997 Gasesforelectronicindustry-Nitrogen 1 范围 本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空 气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积 时的载气等。 氮气化学性质不活泼，不可燃，是一种窒息性气体。 分子式:NZ。 相对分子质量:28.0134(按1991年国际相对原子质量)。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准必威体育精装版版本的可能性。 CUB/T3864-1996 Y业氮 GB/T5832.1-86 气体中微量水分的测定 电解法 GB/T5832.2-86气体中微量水分的测定 露点法 GB/T6285-86气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T8981-88气体中微量氢的测定 气相色谱法 GB/T8984.1-1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法 GB/T8984.3-1997气体中总烃的测定 火焰离子化法 3 要求 电子工业用液态、气态氮的技术指标应符合表1的要求。 表1技术指标 V/V 项 目 指 标 氮气纯度，1。一2 ) 99.9996 一氧化碳含量，10 ‘ 簇 0.5 二氧化碳含量，10. 簇 0.5 氢含量10-0 1.0 氧含量10-` ( 0.5 总烃(以甲烷计)含量，10-1 0.5 水分含量10-1 ( 0.5 颗粒 供需双方商定 国家技术监督局1997一08一，3批准 1998一05一01实施 GB/T 16944一1997 4 试验方法 4.1 抽样 瓶装氮气按表2规定随机抽样检验，最大批量1