GB/T 16945-1997电子工业用气体　氩.pdf

cB/T 16945一1997 前 言 本标准是根据SEMIC3.46-9309.9992%质量的散装液氢标准》(95年版)制定的，在技术要求 上与之等同，试验方法与之等效。 在将SEMIC3.46-93转化为国家标准时，结合我国实际情况，将适用范围扩大至瓶装氢气和管道 输送的氢气，删去SEMIC3.46-93中仅作为参考的说明、物理常数及注释等内容，试验方法中增加抽 样和氢气纯度两条，除氢、氮含量的测定采用SEMIC3.46-93的方法外，其余各项杂质含量的测定分 别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMIC3.46-93的规定进行 适当的调整。以上变动与SEMIC3.46-93无实质性差异，使标准的技术内容更加完整。 本标准由中华人民共和国化学工业部提出。 本标准由化学工业部西南化工研究院归口。 本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院、上海BOC气体工业有限公司、武钢氧气厂、洛阳单 晶硅厂。 本标准主要起草人:颜伯举、王少楠。 中华人民共和 国国家标准 电子工业用气体 氢 GB/T 16945一19-97 Gasesforelectronicindustry-Argon 1 范围 本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志。 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氢和气态氢. 电子工业用氢气用于系统的吹扫、保护和增压，它还可用于化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子 刻蚀剂和退火等不同工艺中。 分子式:Ar 相对分子质量:39.948按 1991年国际相对原子质量) 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准必威体育精装版版本的可能性。 GB/T4842-1995 氨气 GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定 电解法 GB/T5832.2-86 气体中微量水分的测定 露点法 GB/T6285-86气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T8984.1-1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法 GB/T8984.3-1997 气体中总烃的测定 气相色谱法 GB14193-1993液化气体气瓶充装规定 JB/TQ503-86低温液体槽车 JB/T6897-93低温液体容器 JB/T6898-93低温液体储运设备使用安全规则 3 要求 电子工业用氢技术要求应符合表1的规定。 表1技术要求 v/v 项 目 } 指 标 } 91纯度，，。一， ) 一 氢含量，，。一， 蕊 一} } 氮含量,l0-0 c 一 氧含量，10一“ ( o.5 一氧化碳和二氧化碳含量,1o-s 0.5 总烃(以甲烷计)含量,i0-s ( 0.5 水分含量,10-s ( 0.5 颗粒 I