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偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究 薄膜技术的发展及其应用 薄膜是一种较特殊的物质形态，其在厚度这一特定方向上尺寸较小，仅 是微观可测的物理量，并且在厚度方向上由于表面、界面的存在，使物质的连续性发生中断，由此使得薄膜材料产生了与块状材料具有不同的性能。也可以解释为，由于成膜的过程中晶体取向、晶粒大小、杂质浓度、成份的均匀性、基底材 料、温度以及清洁度等因素的影响，使得薄膜的物理性能与块状材料的物理性能 在诸多方面不同。这引起了诸多科研工作者们较为浓厚的研究兴趣并使之得到更为广泛的应用。二十世纪70年代以来，薄膜技术得到空前的发展，无论在学术研究 上还是在工业应用中都取得了较
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