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分立器件测试方法研究和硬件实现-检测技术与自动化装置专业论文
万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他 人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构 的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均 已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 签名: 日期: 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘, 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 (必威体育官网网址的学位论文在解密后应遵守此规定) 签名: 导师签名: 日期: 年 月 日 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 半导体分立器件的产品特点是集成器件无法完全替代的,在集成器件快速发 展的今天,其市场前景依旧十分广阔。随着国际生产大转移,大量半导体生产厂 商进入中国,国内半导体自主品牌也逐步发展,我国半导体产业已经走向快速发 展的轨道。然而,分立器件在大规模量产和新型器件的不断问世也给半导体分立 器件的测试提出了新的要求,在分立器件生产线上,随着器件生产成本的降低和 规模的扩大,测试设备的自动化程度和测试速度也有了更高的需求。据调查,国 内大多数半导体生产厂商使用的半导体测试设备均依靠进口,却没有几家专业从 事半导体测试设备研发的大型公司,市场上以单一型号器件测试的半导体测试设 备产品居多,而且,智能化、自动化程度较低。 本课题研究的半导体分立器件综合测试系统具有测试器件种类全、能够适应 现代化自动测试需求、可按测试要求快速编写测试程序等特点;基本实现对常用 半导体分立器件交、直流参数的测量,并可以应用在分立器件生产线上,配合器 件分选机完成器件的自动化测试与筛选等任务。第一章介绍了分立器件产业背景 和发展形势以及分立器件测试技术的发展现状,阐述本课题研究的重要意义。第 二章分析常用分立器件电气参数类型,对参数类型进行分类,为分立器件测试仪 的研发奠定基础。第三章主要研究了分立器件测试仪对不同类型电学参数的测试 测量方法,以及测量电路方案的设计,并针对各类参数的测量提出具体的测试实 例。第四、五章介绍了分立器件测试系统的硬件方案确定和实现,测试仪由 CPU 板、高压板、大功率板、脉冲大电流板和测试适配器等组成,详细分析了各个功 能单板的实现原理、设计方案及技术指标和主要功能电路的设计。第六章介绍了 分立器件测试仪的校准调试方法,最后,结合具体的测试实例,完成测试系统的 应用和性能分析。 本设计完成的半导体分立器件测试仪具有使用成本低、测量精度高、测试速 度快等特点,该产品的问世满足了国内半导体产业发展对测试设备的需求,可推 广应用于分立器件的出厂测试等领域。 关键词:分立器件,分立器件测试,脉冲测量,直流测试,交流测试 I ABSTRACT ABSTRACT In the case of the characters of discrete semiconductor devices can’t be replaced by integrated chips, discrete devices also have broad prospects nowadays when integrated chips develop rapidly. With the big shift of international production, a mass of producers of discrete devices shift into China and national self owned brands is developing gradually. Our semiconductor industry is stepping into a rapid development track. However, mass producing and appearance of new devices also take new standard to the test of discrete semiconductor devices. With the reduction of production costs and expansion of production scale on assembly line, automaticity and test rate of test equipment also require a hig
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