多晶硅铸锭炉操作维护说明书修改版全文(可编辑).docVIP

多晶硅铸锭炉操作维护说明书修改版全文 多 晶 硅 铸 锭 炉 操作维护手册 前言 本说明书是指导用户如何使用和维护多晶硅铸锭设备的重要资料,用户在使用多晶硅铸锭设备前一定要仔细阅读本说明书,并充分理解,以便使设备能够正常生产,同时提供了如何避免意外以及预计会产生的故障并提前解决的方法。在自动运行模式下,操作屏有密码保护,需要授权的操作工程师才能进入,可以干预或修改参数。高级参数的设定见附录。 本说明书包含如下内容: 安全措施及设备规格; 设备概述; 设备操作; 设备维护; 常见故障处理措施。 无锡开日多晶硅铸锭炉概貌 目录 1.安全 3 1.1安全符号及说明 3 1.2安全保护措施 3 2.设备规格 3 2.1设备的平面图 3 2.2 设备接口规格要求 3 3.设备概述 3 3.1 操作原理 3 3.2 系统构成 3 4. 操作界面 3 4.1 报警页 3 4.2 主视图 3 4.3 曲线趋势图 3 4.4 历史数据库查询 3 4.5 模式页 3 4.6 主参数和系统配置页 3 4.6 .1主参数页1 3 4.6.2 主参数页2 3 4.6.3 主参数页3?水温报警及加热报警参数设置 3 4.6.4 系统配置窗口 3 4.6.5 主参数温度-压力PID分区参数配置表 3 4.6.7 慢抽程序参数设置窗口 3 4.7手动操作 3 4.7.1 热偶仓检漏 3 4.8手动维护屏幕 3 4.9 运行干预操作 3 4.10 初始检查窗口屏幕 3 4.11 配方屏幕 3 4.12 隔热层手动升降屏幕 3 4.13主加热参数屏幕 3 4.14 手动下腔室升降窗口 3 5. 炉子的具体操作 3 5.1 概述 3 5.2 打开下腔室 3 5.3 取出长晶结束后的硅锭 3 5.4 进料过程 3 5.5 选择运行的配方及下载 3 5.6 自动运行初始检查屏 3 5.7 自动循环过程 3 6. 设备维护 3 6.1 设备保养 3 6.2 常见故障及排除 3 6.3 备品备件、易损件清单 3 7. 常见故障处理措施 3 7.1 电源停电/缺相故障处理措施 3 7.2 断水故障处理措施 3 7.3 硅溢流报警处理措施 3 7.4 三相电流不平衡报警处理措施 3 1.安全 1.1安全符号及说明 本设备安全符号等级分为四种,分别为危险、警告、小心、注意,详细定义见表1.1。 表1.1 设备安全符号定义 危险 表示存在严重的危险性,如不避免将会导致人身死亡或严重的伤害,只有设备维护工程师才能进行维护操作。 警告 表示存在潜在的危险性,如不避免将会导致严重的人身伤害,只有充分了解警告信息后才能进行操作。 小心 表示存在一定的危险性,如不避免可能会导致的设备损坏或数据丢失,同时可能会对人身造成伤害。 注意 表示重要的相关信息,并提供操作建议。 1.2安全保护措施 任何人操作、打开或维修设备时都必须遵守安全预防措施。操