异物对策课件.pptVIP

Panel製程教育訓練教材 無塵室之異物對策 PANEL製程教育訓練教材 ＊左右CMO製造TFT機能的良率。 　原因之一為異物。 ＊因此，針對工廠全體之所有異物施以對策，　　進而達到製品品質穩定之目的。 ＊使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。 ＊若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的投資額與維持費用。 PANEL製程教育訓練教材 1)Array工程 發生大批pattern不良。 斷路、短路。 2)Panel工程 發生大批之pattern不良。 電氣特性及表示畫面不良。 3)模組工程 電氣特性不良。 　　　　　 B／L異物不良。畫面不良的原因。 PANEL製程教育訓練教材 ＊在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。 ＊以?m尺寸（size) 為單位的物質稱為異物。 異物尺寸從最大數十?m到需用電子顯微鏡觀察確認的0.01 ?m之物質皆有。 　現在的半導體業已經從64M 0.28 ?m更進一步到256M 0.2 ?m的Pattern配線，必需要求同程度以下的異物對策。 　人的頭髮直徑大約在50~70 ?m 　TFT的配線大約在6 ?m的程度 PANEL製程教育訓練教材 ＊依Array、Panel、Module之不同，對異 　物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。 ＊Array無塵室(全室)管理等級訂定100。 ＊Panel管理等級訂定100~10000。 ＊Module部份的管理等級訂定10000~100000。 PANEL製程教育訓練教材 ＊與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進 　無塵室。 ＊與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。 ＊從設備和工具，保修部品等帶進。 ＊從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。 ＊從器具備品、棚架和台車帶進。 上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中。 PANEL製程教育訓練教材 ＊付著在物品上進入 一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有 被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。 ＊人員攜入 鞋子和無塵服和食物、手提袋…等，會帶入污染物。 ＊從環境破壞而入 從門縫、建築縫隙、天花板的間隙…等，建築物的不 良部份侵入。 PANEL製程教育訓練教材 ＊金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物 產生。 ＊加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因 摩擦而產生異物。 ＊材料的角邊和材質會產生異物。 在TFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材 質會因剝落而產生異物。 PANEL製程教育訓練教材 ＊裝置驅動的地方就是產生異物的地方。 齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子…等，會摩擦的地方 為發塵源。 ＊關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期間 後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有 細小的異物付著。 ＊人體會有很多細小的異物產生。 皮膚、毛髮、體毛…等異物會產生。 PANEL製程教育訓練教材 ＊塵埃類 土類、油類、煙類、塑膠類、其它。 ＊金屬類 裝置類、器具備品類、保管庫、其它。 ＊紙類 包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文具。 ＊人 頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。 PANEL製程教育訓練教材 ＊裝置類 金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。 ＊材料關係 材料材質的發塵，加工時的發塵。 ＊梱包關係 梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。 ＊人體 皮膚、手垢、體毛、動作。 ＊建築關係 外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。 PANEL製程教育訓練教材 PANEL製程教育訓練教材 PANEL製程教育訓練教材 PANEL製程教育訓練教材 PANEL製程教育訓練教材 PANEL製程教育訓練教材 ＊管理監督者必須對塵埃有深入的理解。 ＊人員必須有塵埃的意識。 ＊人員必須有塵埃的知識。 ＊人員必須有對於塵埃的實際操作技能。 ＊必須有對於塵埃的工作團隊體制。 ＊必須對塵埃管理。 知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。 PANEL製程教育訓練教材 ＊知識　關於異物三原則及其具體的內容和異物。