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半导体工厂中的氦气泄漏检测 智能手机、平板电脑、游戏机、导航系统、纯平显示器，这些以及 我们售后服务工程师之一的典型现场服务一览： 其他很多高科技产品由于半导体产业才得以存在。没有该产业，现 代传播媒体中使用的内存芯片和处理器就无法生产出来。 测试生产环境的氦气泄漏检测 它们的生产需要极其洁净的真空条件并精确地进行监测。例如，在 “大于 5 milliTorr，我去拿检漏仪！”Eyck Schwarz 是普发真空的一 半导体生产设施（被称为“晶圆厂”）投入运行后，需要以测量压力 名售后服务工程师。他为一家大型半导体提供商的操作员提供真空 上升的方式进行泄漏测试。只有系统的气密性得到了认可，才能批 设备和现场泄漏检测支持。目前，多晶硅干法刻蚀系统必须在标准 准该工艺流程。如果压力上升大于定义的阈值，则晶圆厂关闭，并 维护后才能重新启动。 启动泄漏检测以找出泄漏并将其修复。普发真空凭借其全面的售后 服务体系，提供最佳专家支持（甚至为现场泄漏检测提供支持）。 系统内的不同气源 泄漏不是系统内导致压力上升的唯一气源。此外，尤其需要注意内 表面的脱气以及密封件的渗透。哪种气源具有最大影响取决于特定 的系统，因此必须分别确定。 Eyck Schwarz 进入系统内并连接无油、高性能普发真空检漏仪 ASM 380。因此，他将检漏仪安装在位于地下室管线中涡轮分子泵 和流程泵之间的切断阀上。 在一旁观察他的系统操作员很惊讶：“该系统腔室处有一个法兰可 以轻松接近。这是我们通常连接检漏仪的地方。为什么您不这样 做，反而爬进系统内去接触内部的法兰？这意味着付出更多的努 力，因而耗费时间！” “这种说法或许有一定的道理”，售后服务工程师回答到，“但努力是 值得的。如果检漏仪连接在涡轮分子泵和干式泵之间，则泄漏信号 更高，反应时间更短。此外，可以更快地发现并找出泄漏。因此最 后，您甚至节约了时间！” Caption 地下室前真空管线处的法兰的确是最佳连接。在这里，检漏仪不必 Wafer transport L/ L 与运行中的涡轮分子泵竞争。 Wafer degassing Chamber inner surface, 与涡轮分子泵的抽速相比，检漏仪的有效抽速更小。因此，要比压 degassing