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?第十一章? 晶体薄膜衍衬成像分析 第一节 概述 电子衍射的进行微观结构形貌分析，要求电子束能够透过所观察的样品。 ???利用获取间接样品实现对微观组织的观察，分辨率达到几纳米左右。由于复型材料颗粒较大，不能把细微结构复制出来。复型仅仅得到的是样品的表面形貌，无法对样品的内部组织结构（晶体缺陷、界面等）进行观察分析。 ??? 薄膜样品直接观察分析。揭示样品内部的精细结构，使电镜的分辨率大大提高。 样品的要求 样品必须对电子束是透明的，观察区厚度一般在100-200nm范围一、复型（间接）样品的制备 复型是指将样品表面的浮凸复制于某种薄膜，可间接反映原样品的表面形貌特征的间接样品。 复型材料
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