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26-Jan-2007 * 二.真空設備介紹 2.1 油迴轉幫浦(RP) 油迴轉幫浦為真空排氣系統中最基本的幫浦,抽真空能力一般從760Torr至1x10-2Torr.大部分的油迴轉幫浦皆利用壓縮空氣的原理排出空氣,基本的原理描述於下圖所示: 從圖所示:氣體進入幫浦后,經過旋轉片的壓縮,累積壓力大於一大氣壓時(約為850Torr),排氣閥打開,氣體排除幫浦. 旋轉葉片與幫浦氣缸之間,因油流電磁閥的打開而進入少許的幫浦油,以達到潤滑與氣密的作用; 若無幫浦油之流動則幫浦溫度上升,真空度下降,可見幫浦的重要性. 當幫浦油內含有大量水蒸氣等可凝縮性氣體,造成幫浦油乳化,真空鍍下降,此時適當的打開氣鎮閥門可有效的排出水蒸氣等可凝縮性氣體,使幫浦油正常,真空度上升. 二.真空設備介紹 2.1 油迴轉幫浦(RP) 二.真空設備介紹 2.2 機械魯式幫浦(MP) 下圖為機械魯式幫浦之動作原理,很清楚的顯示氣體流動方法: 從圖所示,氣體進入幫浦后,經過高速旋轉的轉子壓縮(1800~3600RPM),累積氣體再由油迴轉幫浦排出大氣. 一般魯式幫浦中兩轉子間縫隙與轉子幫浦內壁縫隙為0.2~0.3mm,且轉速一般在1800~3600RPM之間,其終極真空度可達5x10-3Torr左右. 因魯式幫浦排氣量皆在機械幫浦的4~10倍左右,為考慮進氣口與排氣口壓力過大而造成幫浦劇烈振動與軸承損壞,魯式幫浦以變頻器控制,平常為慢速待轉,當真空腔內壓力在10Torr左右才全速運轉.(由桶身內低真空計來控制快慢轉). 二.真空設備介紹 2.2 機械魯式幫浦(MP) 二.真空設備介紹 2.3 油擴散幫浦(DP) 油擴散幫浦的抽氣原理如下圖所示,簡單說明於下: 1.油擴散幫浦油經過加熱器加熱至蒸發溫度以上(大約2200)變成高溫高速的油蒸氣. 2.高溫高速的油蒸氣依循內部層層噴射筒的方向噴射出來,當油蒸氣依向下的方向碰撞到空氣分子,把空氣分子擠壓在擴散筒底部,交給機械幫浦抽走.(油蒸氣一層一層壓縮氣體分子,最底部約為5x10-2 Torr 3.當油蒸氣碰到被水冷卻的擴散桶壁時,變成油滴而流回擴散幫浦底部. 4.少數的油蒸氣向上逆流,經過上方的水冷油擋板冷卻成油滴而滴回擴散幫浦底部. 5.流回底部的擴散油經過加熱后再次變成油蒸氣,如次循環的達到排氣的動作. 由此可知,擴散幫浦之油抽氣能力取決于擴散油質、油量、加熱與冷卻情形,回油量之控制等. 26-Jan-2007 *