dss炉子操作说明1.doc

DSS炉操作手册 生产技术部译 目录 1．安全……………………………………………………………………………4 1.1 本地代码和标准…………………………………………………………………...4 1.2 安全说明……………………………………………………………………… …...4 1.3 安全符号……………………………………………………………………………4 1.4 安全保护措施………………………………………………………………………5 1.4.1 设备危险说明…………………………………………………………………...5 1.4.2 高压保护措施………………………………………………………………7 1.4.3 压缩空气保护措施…………………………………………………………….8 1.4.4 断开/锁定……………………………………………………………………8 1.4.5 断开/锁定步骤………………………………………………………………9 1.4.6 断开电气设备…………………………………………………………………11 2. 设备规格…………………………………………………………………..11 2.1 设备布置图……………………………………………………………………….13 3. 概述………………………………………………………………………15 3.1 说明……………………………………………………………………………….15 3.2 操作原理………………………………………………………………………….15 3.3 系统软件………………………………………………………………………….17 3.3.1 炉腔…………………………………………………………………………17 3.3.2 加热区……………………………………………………………………18 3.3.3 真空泵系统………………………………………………………………19 3.3.4 供应电源……………………………………………………………………19 3.3.5 控制盘………………………………………………………………………20 3.4 操作工控制盘…………………………………………………………………20 4. 操作屏…………………………………………………………………….20 4.1 报警屏幕…………………………………………………………………………..21 4.2 掉电/缺相………………………………………………………………………….23 4.3 接触器故障屏幕…………………………………………………………………..25 4.4 浏览屏幕…………………………………………………………………………..28 4.5 详细屏幕…………………………………………………………………………...31 4.6 模式屏幕…………………………………………………………………………...33 4.7 你确实想终止屏幕吗?35 4.8 主参数屏幕………………………………………………………………………..36 4.9 PID值屏幕……………………………………………………………………….40 4.10 输入密码才能进入的手动屏幕…………………………………………………41 4.11 降压屏幕…………………………………………………………………………43 4.12 配方屏幕………………………………………………………………………44 4.13 手动屏幕………………………………………………………………………44 4.14 隔热层的手动屏幕………………………………………………………………47 4.15 图标数据屏幕……………………………………………………………………50 5. 炉子操作…………………………………………………………………...52 5.1 概述……………………………………………………………………………52 5.2 打开炉腔…………………………………………………………………………..52 5.2.1 提升下腔室的屏幕……………………………………………………………..54 5.3 取出长晶的硅锭………………………………………………………………… 55 5.4 装入新硅料…………………………………