上海和辉光电有限公司第45代低温多晶硅LTPSamoled产能扩充项目.pdfVIP

上海环境热线 说 明 上海化工研究院（评价机构）受上海和辉光电有限公司 （建设单位）委托开展 对“第4.5 代低温多晶硅LTPS-AMOLED 产能扩充项目”环境影响评价。现根据国家 及本市法规及规定，并经上海和辉光电有限公司同意向公众进行第二次信息发布， 公开环评内容。 本文本内容为现阶段环评成果。下一阶段，将在听取公众、专家等各方面意见 的基础上，进一步修改完善。 1 上海环境热线 1 建设项目概况 1.1. 建设项目的地点及相关背景 上海和辉光电有限公司位于上海市金山工业区九工路 1568 号，占地面积92412.3 平方米，公司成立于2012 年 10 月，主要生产中小尺寸AMOLED 显示屏和研发下一 代显示技术。 根据市场需求，公司拟投资105000 万元，在厂区现有主厂房内建设第4.5 代低温 多晶硅LTPS-AMOLED 产能扩充项目，主要产品为中小尺寸AMOLED 显示屏及模块。 1.2. 建设项目主要建设内容、生产工艺、生产规模、建设周期和投资 1.2.1 建设内容 本项目建设内容主要包括： （1）在主厂房预留空间增加本项目相应产品的生产装置，并依托现有设备，增加 设备腔体，实现本项目的产能扩充。 （2 ）主厂房东侧支持栋2 特气房新增1 个安全气柜，存放2 个Cl2 钢瓶；支持栋 2 特气房气瓶架新增2 个C HF 钢瓶；主厂房洁净室 1 层新增2 个安全气柜，分别存 2 5 放2 个BCl3 钢瓶。 （3 ）工艺废气处理系统新增1 套POU 单元（焚烧），位于生产车间工序位。 （4 ）酸性废气处理系统新增 3 套 POU 单元（水洗+焚烧+水洗），位于生产车间 工序位；新增 1 套集中碱洗塔，1 根38m 高排气筒，并配套变频风机，位于主厂房楼 顶。 （5 ）动力站扩建工艺真空系统，新增1 台水冷真空机组。 （6 ）动力站扩建纯水系统，新增1 套纯水制备系统。 （7 ）供电系统新增变压器。 （8 ）溶剂回收站列入本项目内容，设置一套精馏装置，对废剥离液进行回收利用， 废剥离液处理能力约 1728t/a。设置3 台（2 用1 备）0.2t/h 蒸汽锅炉，对剥离液回收系 统进行供热。 （9 ）在已完成土建的实验区内新建1 条金属掩膜板生产线，以自制有机蒸镀工程 所需的掩膜板，制备能力为3200 片/年。 （10）本项目公用、辅助、储运及环保设施等，依托一期现有工程。本项目相应 2 上海环境热线 配套建设至一期现有工程依托设施的设施及管路系统。 （11）本项目在有机蒸镀线边新增一条蒸镀测试（Miniline ）线，主要作用为测试 蒸镀材的性能，工艺流程与有机蒸镀工程工艺类似。 1.2.2 生产工艺 本项目生产工艺及制程与一期工程一致，主要由阵列工程（Array ）、有机蒸镀工 程（OLED ）、模块工程组成。 阵列工程 （Array ）使用外购的专用玻璃基板，充分清洗后在其清洁干净的表面上 通过化学气相沉积的方法形成半导体膜或绝缘膜，并经准分子激光回火形成多晶硅膜， 通过溅射镀膜的方法形成金属膜，通过离子植入的方法进行掺杂，然后经光刻胶涂敷、 曝光、显影等光刻工艺，并经干法刻蚀、湿法刻蚀后，剥离掉多余的光刻胶，形成栅 电极及引线、有源层孤岛、源漏电极及引线、接触过孔、像素电极，再经热处理把半