上海和辉光电有限公司第6代低温多晶硅LTPSAMOLED显示项目.pdfVIP

上海环境热线 说 明 上海化工研究院（评价机构）受上海和辉光电有限公司（建设单位）委托开展 对“第6 代低温多晶硅（LTPS ）AMOLED 显示项目”环境影响评价。现根据国家 及本市法规及规定，并经上海和辉光电有限公司同意向公众进行第二次信息发布， 公开环评内容。 本文本内容为现阶段环评成果。下一阶段，将在听取公众、专家等各方面意见 的基础上，进一步修改完善。 1 上海环境热线 1 建设项目概况 1.1. 建设项目的地点及相关背景 上海和辉光电有限公司位于上海市金山工业区九工路 1568 号，公司成立于2012 年10 月，主要生产中小尺寸AMOLED 显示屏和研发下一代显示技术。 根据市场需求，公司拟投资272.78 亿元，新征现有厂区外东南地块（九工路以南， 时代大道以西，天工路以北，东兴路以东），建设第6 代低温多晶硅（LTPS ）AMOLED 显示项目，主要产品为中小尺寸AMOLED 显示屏及模块。 1.2. 建设项目主要建设内容、生产工艺、生产规模、建设周期和投资 1.2.1 建设内容 建设工程包括生产及辅助生产设施、动力设施、环保设施、安全设施、消防设施、 管理设施以及相应的建（构）筑物，具体内容如下： ① 生产及辅助生产设施：由阵列工程、OLED 工程、模组工程、测试工程、QCQA 工程、显示面板包装、托盘（溅射靶）清洗、技术管理、设备维修、库房（原辅材料 库、半成品库、成品库、化学品库、危险品库）； ② 动力设施及其他设施：水源工程、循环冷却水站、纯水制备与输送系统、化 学品分配供应系统、大宗气体输送（纯化）系统、特种气体输送系统、变电站（供电 局建设）、电力照明系统、空调净化系统、空压站、制冷系统、环保设施（废水处理设 施、废气处理设施、废液回收设施）、消防设施、劳动保护安全设施、室外工程； ③ 管理设施由办公区（厂房内）、办公楼、研发楼及门卫等组成； ④ 大宗气体制备与供应站由专业气体公司自行建设。 1.2.2 生产工艺 本项目产品为传统产品和柔性产品两大类，产品生产总体工艺及制程同现有工程， 主要由阵列工程（Array ）、有机蒸镀工程（OLED ）、模块工程组成。本项目产品与现 有工程产品区别主要在OLED 段，现有工程产品采用传统封装工艺，本项目产品全部 采用柔性封装。此外，项目新增材料回收工艺，拟对蒸镀过程产生的废有机发光材料 进行回收利用。 （1）阵列工程（Array ） 传统产品阵列工程（Array ）：在玻璃基板上进行多道清洗、成膜、掺杂、涂敷、 2 上海环境热线 光刻、刻蚀、剥离等工序制作。柔性产品阵列工程制作基材为聚酰亚胺膜（PI 膜）， 其余制作工艺流程与传统产品一致。 （2 ）有机蒸镀工程（OLED ） 阵列基板在高真空腔室中蒸镀有机发光材料薄膜，然后进行柔性封装。柔性封装 工艺主要由玻璃翻转、超声波清洁、化学气相沉积、喷印、气相原子沉积、层压贴附 组成。 项目设一条蒸镀测试（Miniline ）线，位于有机蒸镀线旁，主要用作蒸镀材性能的 测试。制作流程与有机蒸镀工程工艺类似，工序上只进行简单的磨边-剥离-清洗-蒸镀- 封装-测试。测试片尺寸为200×200mm 。 （3 ）模块工程 传统产品模块制程是将面板贴敷偏光片，使OLED 面板与外部驱动芯片和信号基 板相连接，组装后经老化处理、电气特性检查后即成为模块。此模块提供给下游厂家 使用。柔性产品是在PI 膜上贴附保护膜后，进行上述模块工艺流程制作。 （4 ）材料回收 将待回收的有机发光材料进行纯化处理，主要分为溶解、过硅胶、析出过程。纯 化后通过过滤，分离出固体有机发