沸石吸附浓缩焚化系统VOCs防制设施效能提升方式.PDF

VOCs 防制設施效能提昇方式 VOCs 防制設施效能提昇方式 ( 沸石吸附濃縮焚化系統) ( 沸石吸附濃縮焚化系統) 陳立德 聯華電子股份有限公司 2003.07.25 報告內容 一、沸石轉輪吸附焚化系統介紹 二、沸石轉輪焚化系統效能提昇方法 三、實場效能提昇研析 四、系統運轉中影響處理效能之因素 四、系統運轉中影響處理效能之因素 五、結論 一、沸石轉輪吸附焚化系統 一、沸石轉輪吸附焚化系統 介紹 介紹 VOCs 廢氣處理技術簡介 VOCs 廢氣處理技術簡介 活性碳固定床 洗滌/ 吸收法 纖維碳固定床 冷凝法 活性碳流體化床 吸附法 轉輪濃縮 直燃法 焚化法 恢復直燃式焚化爐 觸媒焚化法 混合式處理系統 再生蓄熱式焚化爐(RTO) 發展中 生物過濾法 紫外線及臭氧氧化法 放電破壞(Corona Destruction) 電子射線破壞 (Electron Beam Destruction) 半導體業 廢氣的處理 - VOCs 半導體業 廢氣的處理 - VOCs VOC去除目標 VOC去除目標 　環保法規排放規定 　　　VOC去除效率：90%以上 　　　 　　　或總排放量：小於0.6 kg/hr 　　　每季監測率：大於80% 　本公司目標 　　　VOC去除效率：95%以上(For Rotor) 　　　 99%以上(For Oxidizer) 　　　每季監測率：製程不停機 　　　VOC處理設備亦連續操作及監測 設備選擇的考量 設備選擇的考量 處理效益 •設備性能 •系統設計 操作穩定性 安全性 維修保養服務