EG2001X针测机的保养和维护.docVIP

壹、机台名称： EG 2001X FULLY AUTOPROBER． 贰、适用产品： 4”－6”芯片． 参、操作说明： 机台各部主要配置图及说明如下： 二、系统结构 1．执行系统 （THE EXECUTIVE SUBSYSTEM） 2．左右行动系统(THE X-Y MOTION SUBSYSTEM) 3．高度升降系统(THE THETA，ZMOTION SUBSYSTEM) 4．品片传达系统(THE MATERIAL HANDLING SUBSYSTEM) 5．影像处理系统 (THE VISION SUBSYSTEM) EG2001X针测机的保养和维护程序 EG2001X全自动针测机 l. 设备兴材料： 工具组 维修用润滑油(非腐蚀性) 清洁用的布,细砂纸,酒精 2. 作业程序： 保养项目 保养方法 晶圆承载台 用布清洁承载台，用酒精洗净INK渍 移动平台 用翘棒翘起CHUCK，用细砂纸磨去铁溴， 再用布清洁平台和CHUCK底部并打蜡 自动传输机构 用吸尘器和布清洁干净 INKERS 用酒精清洁INKER，并检查接线是否断裂，鱼线 动作是否正常 VISION MODULE 用气枪及吸尘器清洁干挣 POWER MODULE 用气枪及吸尘器清洁干净 散热风扇 用气枪及吸尘器清洁干净 电路板清洁 用气枪及吸尘器清洁干净，并用酒精清洁电路板 金手指 EG2001X半自动针测机 1. 设备兴材料： 工具组 维修用润滑油(非腐蚀性) 清洁用的布和细砂纸，酒精 2. 作业程序： 全自动保养项目中去除自动传输机构，影映控制箱和PROIFILE的调 整，其它同全自动。 三．机台的水平校正 1. 设备与材料： 精密水平仪 2. 作业程序： 先用水平仪在CHUCK平台上取三个方向，分别调整CHUCK底座的三 颗螺丝至水平仪数值偏差在10MIL之内：同样用水平仪测锁圆盘的三个 点调整平台的三个螺丝至偏差在10MIL之内。 四．PROFILE的校正： 1. 移动CHUCK至PROFILE头的下方(WAFER OFF) 2. 按PROG＋0键(将PROFILE头降下) 3. 按PROG+Z键(将PROFILE头与CHUCK接触，高度约255MIL) 4. 将CHUCK高度调至247MIL(PROFILE动作时与CHUCK间距为8MIL) 时，PROFILE BOX的LO,HI灯会减，如不灭则调旋钮至亮的一方旋转 5. 调节好后，UP时HI灯亮，DOWN时LO灯亮 PROBER各BOARD说明： A1：SYSTEM MEMORY PCB 1. 包含主系统程序 2. 存储程序参数/演算数值输入 3. 内部时间控制 A2：MOTION CONTROLLOGIC PCB 主要控制X-Y MOTOR LOGIC 产生MOTOR DRIVE PULSE 1. 控制MOTOR速度 2. 控制TRAVEL距离 3. 控制轴向移动 4. 控制管理移动方向 A3：SYSTEM CPU PCB 1. RUN主系统程序 2. 控制所有PCB 3. 传达资料 4. 管理所有的I/O PORTS （A4、A7） 5. 控制AUTO ALIGNMENT(和VISION MODULE配合) 6. 执行温度补偿 A4：TESTER INTERFACE PCB 含有3个I/O PORTS：1. TESTER：TEST START，TEST