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行政院家科委研究成果告高性能合金氮化物薄膜被覆於超硬合金刀具表面程之用及研究研究成果告精版型行期年月日至年月日行位立勤益科技大械工程系主持人子公本涉及利或其他智慧研究成果告精版年後可公查中民年月日中文摘要本研究著重於多元高熵合金薄膜用在薄膜方面用射磁控系首先利用射磁控系於碳化刀具及矽晶片上覆高熵合金薄膜研究高熵合金薄膜於基材刀具上之特性其膜厚度控制於之研究高熵合金氮化物薄膜最佳附著性其耐磨耗性深入研究高熵合金薄膜微化成分成探程件高熵合金氮化物薄膜械物理定性等的影做一有系之研究找出各高熵合金氮化物
行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告
高性能合金氮化物薄膜被覆於超硬合金刀具表面製程之應
用及開發研究
研究成果報告(精簡版)
計 畫 類 別 ： 個別型
計 畫 編 號 ： NSC 99-2622-E-167-018-CC3
執 行 期 間 ：99年11月01日至 100年10月31日
執 行 單 位 ：國立勤益科技大學機械工程系
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