UPW系统介绍(重点培训学习资料).ppt

UPW系统工艺介绍 动力技术部UT科 2009.5.18 Page 2 前 言 第一章 超纯水制备系统 第二章 回收水处理系统 Page 3 前言 超纯水（UPW-Ultra-Pure Water）系统是最重要的动力支持系统之一，分别为阵列（Array），成盒（Cell），彩膜（Color Filter）等主要制造工艺提供合格的超纯水。在各个制造工艺中，主要用作玻璃基板的冲洗，和较高浓度的化学品原液混合配制工艺制造所需特定浓度的化学品。换句话说，超纯水在制造工艺中将直接和产品或产品部件发生直接接触。鉴于此，必须借助于一些特殊的方法将存在于原水（自来水）中的将可能对制造工艺造成影响的污染因子去除。比如TDS（总溶解固形物），TOC（总有机碳），细菌，二氧化硅，DO（溶解氧）以及一些金属离子（Na, K, Ca, Cu）等。为了降低原水中的这些污染因子，超纯水系统采用了一系列的设备，比如多介质过滤器（MMF），活性炭过滤器（ACF），反渗透（RO），离子交换器，紫外灯（UV），混床（MB），膜脱气（MDG）和超滤等。同时，为了保证提供稳定合格的超纯水，防止超纯水在长距离输送过程中滋长细菌而导致水质变坏，超纯水设计了循环供应抛光回路，并且保证管路中一定的水流速度。我们的系统设计了两个循环抛光供水回路，回路一设计供水能力为100m3/h，主要为彩膜（C/F），Cell，CCSS，QE实验室，可靠性实验室设备以及更衣室洗手干手器等提供超纯水。回路二设计供水能力为130m3/h，主要为阵列工序的蚀刻和显影等的工艺设备供应超纯水。 TFT-LCD是一个高耗水的行业，如果使用过的水完全作为废水排放掉的话，将会增加制造成本，也就是说产品在市场上将会失去成本优势。事实上，在制造工艺中，很多冲洗用水都是可以回用的，所以我们设计了两套回用水处理系统，分别处理不同污染程度的回收水。 Page 4 废水排放 Page 5 第一章 超纯水制备系统 Page 6 第一节 超纯水水质指标和原水自来水水质指标对比表 水质指标 自来水 超纯水 对应的处理方法 Resistivity(MΩ·cm) 0.002~0.0025 ≥18MΩ·cm / Particle / ≤10 ea/ml, 0.2 μm ↑ MMF/MF/UF Bacteria / ≤5 Col/100ml MF/UF TOC(mg/L) 1.66 ≤0.03(30ppb) ACFUV(185nm) Silica(mg/L) 3.24 ≤0.005(5ppb) RO/UF/IX DO(mg/L) 8.5 ≤0.05(50ppb) MDG Na(mg/L) 3.92 ≤0.0005(0.5ppb) Cation Ion Exchanger K(mg/L) 2.52 ≤0.0005(0.5ppb) Cation Ion Exchanger Ca(mg/L) 41.4 / Cation Ion Exchanger CO3-2 (mg/L) 0.4 / Anion Ion Exchanger HCO3- (mg/L) 3.26 / Anion Ion Exchanger Cl- (mg/L） 8.78 ≤0.001(1ppb) ACF Anion Ion Exchanger SO4-2 (mg/L) 32.1 / Anion Ion Exchanger Page 7 第一节 水中污染物质 1.1 溶解性固体 TDS（总溶解固形物）包括所有无机成盐离子。溶解在水中的盐离子化为其相应的阳离子和阴离子，并使水的电 导率升高。下表显示了电阻率、电导率和TDS之间的关系： 电阻率 （Ohm-cm） 电导率 （μS/cm） TDS PPM as NaCl 1000 1000 500 2000 500 240 3000 333 160 4000 250 120 5000 200 93 10000 100 46 50000 20 9 100000 10 4.6 500000 2 0.9 电导率以（Megohm-cm）计时与电导率以（μs/cm）成倒数关系。 例：如果水样测得电阻率为2500 ohm-cm，那水样的电导率是多少？ 2500 ohm-cm/1000000=0.0025 megohm-cm 1/0.0025=400 μS/cm 水中阳离子有Na+ , K+ , Ca++ , Mg++ , Fe++ , Al+++ 等。同时还含有微量的铅，铜，锌等。 水中的阴离子有Cl- , SO4 -- , NO3 - , CO3-- HCO3- 等。 二氧化硅是土壤中最常见的一种物质，所以 其在水中的含量也很高