微纳尺度制造工程.docVIP

光学与电子信息 学院集成电路工程领域、软件工程领域学位硕士研究生课程简介 课程名称：微纳尺度制造工程 课程代码：18.573 课程类型： 考核方式： 考试 教学方式：讲授 适用：电子科学与技术 开课学期： 秋季 总学时：32 学分：2 先修课程要求：光电子学原理与应用；大学物理；固体物理 课程组教师姓名 职 称 专 业 年 龄 学术方向 范桂芬 副教授 微电子学与固体电子学 39 信息功能材料与器件 课程负责教师教育经历及学术成就简介： 教育经历： 1993-1997：湖北大学，化学系， 本科/理学学士 2002-2007：华中科技大学，电子科学与技术系，研究生/工学博士 2007-2009：华中科技大学，材料科学与工程学院博士后流动站，博士后 2009-至今：华中科技大学，电子科学与技术系，教师 学术成就： 目前主要从事铁电压电陶瓷材料及器件研究。近年来主持完成了湖北省自然科学基金“压电滤波器无铅化环保材料铌酸钾钠陶瓷的研究（2008CDB283）”、中国博士后科学基金“手机镜头驱动叠层微型压电马达陶瓷模块的研究（20080440138）”、教育部博士点基金新教师类“铋基无铅压电陶瓷场致应变特性的研究(20100142120091)”、华中科技大学自主创新项目“理想0-3型多铁复合材料制备及物性研究(2010MS006)”等项目的研究工作。目前已经在国内外重要学术刊物《Applied Physics Letters》、《Journal of Alloys and Compounds》、《Journal of Physics D: Applied Physics》、《Japanese Journal of Applied Physics 》、《Journal of Material Science》及《无机材料学报》等发表学术论文20余篇。 课程教学目标： 微纳加工是应用广泛、发展迅速的一门多学科交叉的新型学科，它的应用领域涵盖了集成电路、集成光学、微光机电系统、微传感、以及介观与量子效应器件等多个科学技术领域。本课程主要讲授微米和纳米微细加工技术、微细结构的分析和表征技术以及微纳加工的应用，使学生对微纳加工技术的基本理论、微纳制造和微细结构的应用有深入的了解。本课程的主要任务是培养学生： 1．了解微纳加工技术的发展过程和发展趋势 2．掌握微细结构的各种加工技术和原理 3．掌握微纳加工技术的应用领域及相关的测量技术 课程大纲：（章节目录） 本课程的主要章节有： 第一章 绪论 （共4学时） 首先介绍微纳加工技术的意义、应用领域以及未来的发展趋势。 第二章 微纳加工的基础知识 （共4学时） 主要介绍 1）光波与光子：电磁波谱，衍射，光学相干性，波动光学聚焦成像理论，产生控制短波长的极紫外线和X射线光子的方法； 2）电子与电子束：电子发射，电子枪，电子束聚焦、成像和偏转； 3）气体放电与等离子体：气体放电，等离子体，等离子体的化学性质； 4）光子、电子和离子与固体物质的相互作用； 5）真空科学基本知识 第三章 微纳加工的主要衬底材料 （共4学时） 主要有半导体材料、介电材料、玻璃和聚合物材料及其它特殊微细结构相关材料 第四章 微纳加工技术 （共10学时） 1）微纳图形技术：主要有微纳图形的掩膜制备，微纳图形的形成——曝光光刻，微纳图形在转移中的曝光、显影和去胶过程； 2）薄膜沉积 3）蚀刻技术——选择性去除材料层 4）外延生长——在基体材料表面生长出与衬底相同（或接近）的晶体结构 5）氧化、掺杂 6）化学机械平坦化 第五章 微细结构的分析和检测 （共6学时） 主要分析和检测方法有：光学方法，电子离子显微分析方法，声学方法；扫描探针显微方法。 第六章 微细结构的应用领域 （共4学时） 微纳加工技术可以应用在以下这些领域： 1）微电子技术与集成电路系统 2）集成光学 3）微电-机械系统（MEMS）和微光-电-机械系统（MOMES） 4）真空微电子技术 5）介观和新原理量子效应器件 4）微探针和微传感器 教材： 《微纳尺度制造工程》（第三版），斯蒂芬 A.坎贝尔著，北京市：电子工业出版社 主