[工程科技]TFT-LCD静电防制.pdfVIP

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2018-03-27 发布于浙江
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[工程科技]TFT-LCD静电防制

Copyright. （ｃ）HARADA CORPORATION. ALL RIGHTS RESERVED since1923 液晶顕示器有限公司液晶製造工程の静電控制上海尚田科技有限公司王翔昱 Jan.19.2006 Electrostatic Control Programe for 1 SVA-NEC Copyright. （ｃ）HARADA CORPORATION. ALL RIGHTS RESERVED since1923 紹介内容１．静電の基礎２．静電対策製品１）帯電現象１）静電除去装置(Ionizer) ２）帯電系列２）基板表面電位測定装置３）静電の測定方法３）剥離帯電防止Coating ４）静電の発生原因４）静電放電検知Monitor ５）静電の問題３．要点（總結）６）一般的静電控制７）静電控制の基本 2 Copyright. （ｃ）HARADA CORPORATION. ALL RIGHTS RESERVED since1923 1. 静電の基礎 Jan.19.2006 3 Copyright. （ｃ）HARADA CORPORATION. ALL RIGHTS RESERVED since1923 帯電のMechanism Separation （接触、剥離） (1) Before contact (2) Contact (charge exchange) (3) Double layer