化学CDS2.ppt

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2018-03-17 发布于河南
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化学CDS2

Chemical 输送方式（1）Pump输送方式：输送非压力操作式容器的化学品。优点是可进行重过滤处理，缺点是输送时有震动，易释出微粒子，产生气泡，虽然可以加装Damper来解决，但其维修成本较高且复杂。（2）压力输送方式：输送压力操作式容器的化学品。压力输送一般使用高纯度N2为操作气体。其优点是不易与化学品反应，品质变异可能性低且维修成本低，缺点是输出流量小且压力操作式容器较昂贵。 Utility Required 系统（1） BOE 1’’PFA/2’’CPVC H3PO4 IPA 1’’SUS316L EP 系统（2） H2SO4 96%、 HF 49%、 HCL、 H2O2、 NH4OH 29% 系统（3） HF10:1 DEV 2.38% Drum cabinet 示意图 Day tank + Delivery module示意图 Mixing VMB示意图 Tee Box 示意图 * * 去重金属粒子 CPVC/PFA Pump 150 酸 HCL CPVC/PFA Pump 75 酸 HF 10:1 去氧化层 CPVC/PFA Pump 300 酸 HF 49% 蒸发干燥 SS/PFA Pump 75 溶剂 IPA 显影 CPVC/PFA Pump 150 碱 DEV 2.38% 去表面粒子 CPVC/PFA Pump 600 碱 NH4OH CPVC/PFA N2 1000 碱 H2O2 去氮化层 CPVC/PFA N2 25 酸 H3PO4 去SiO2 CPVC/PFA N2 60 酸 BOE 去有机物 CPVC/PFA N2 800 酸 H2SO4 96% 作用管道材料输送方式日用量(L) 性质化学品 *