犕犈犕牦器件与电路共同仿真原型系统-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ １０ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１０ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ １０ Ｏｃｔ．２０１０ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１０１０２２０６０６ 　 犕犈犕犛器件与电路共同仿真原型系统 苑伟政，牛昊彬，常洪龙，马炳和 （西北工业大学 陕西省微／纳米系统重点实验室，陕西 西安 ７１００７２） 摘要：为了预测 ＭＥＭＳ器件与电路组成的完整 ＭＥＭＳ系统的行为，建立了一个支持 ＭＥＭＳ器件与电路共同仿真的原 型系统。首先，根据 ＭＥＭＳ系统级仿真与模拟电路仿真的共同特性，提出了 ＭＥＭＳ器件与电路共同仿真的原理和方 法，并依托国产电路仿真平台ＺｅｎｉＶＬＧ建立了共同仿真原型系统的框架结构；然后，分别根据修正节点分析方法和模拟 电路行为级建模方法开发了该共同仿真原型系统所必需的两个参数化模型库。通过一个跷跷板式微加速度计分别与其 开环电路和闭环带载波电路的共同仿真对原型系统和模型库进行了测试，与国外商业软件 Ｓａｂｅｒ对比，开环仿真结果相 对误差为 ２．１％，表明提出的原型系统能够有效进行 ＭＥＭＳ器件与电路共同仿真，并且具有较高的精度。 关 键 词：微机电系统；接口电路；共同仿真；加速度计 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＮ７１０ＴＨ７０３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２２０６ 　　 　　 犆狅狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀狅犳犕犈犕犛犪狀犱犮犻狉犮狌犻狋狊犻狀犣犲狀犻犞犔犌 ， ， ， ＹＵＡＮＷｅｉｚｈｅｎ ＮＩＵＨａｏｂｉｎ ＣＨＡＮＧＨｏｎｌｏｎ ＭＡＢｉｎｈｅ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， 犕犻犮狉狅犪狀犱犖犪狀狅犈犾犲犮狋狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾犛狊狋犲犿狊犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狔 狔 ， ’ ， ， ） 犖狅狉狋犺狑犲狊狋犲狉狀犘狅犾狋犲犮犺狀犻犮犪犾犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犡犻犪狀 ７１００７２犆犺犻狀犪 狔 狔 ： （ ） 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｏ ｒｅｄｉｃｔｔｈｅｂｅｈａｖｉｏｒｓｏｆｔｈｅｗｈｏｌｅＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＳｓｔｅｍ ＭＥＭＳ ｉｎｃｌｕｄｉｎ ｐ