全液相刻蚀制备黑硅及其太阳电池.pdfVIP

全液相刻蚀制备黑硅及其太阳电池 江 江 省 苏 AllAll-chemicalchemical solutionsolution etchingetching blackblack 理 物 薄 薄 Silicon and its solar cells 科 科 料 材 膜 与 学 技 技 苏州大学： 苏晓东 代智华 韩长安 曹芳 李建江 重 重 实 点 学 术 院 院 阿特斯： 章灵军 王栩生 邹帅 黄洁 验 验 室 江 江 省 苏 理 物 薄 薄 科 科 料 材 膜 与 学 技 技 重 重 实 点 学 术 院 院 验 验 室 /PRI Outlook 11. IInttrodductition 江 江 省 苏 22. MMeththodds 理 物 薄 薄 科 科 料 材 膜 与 学 33. ResultsResults andand discussiondiscussion 技 技 重 重 学 术 44. SummarySummary 实 点 院 院 验 验 室 1. Introduction 江 江 省 苏 理 物 薄 薄 科 科 料 材 膜 与 学 技 技 重 重 实 点 学 术 院 院 验 验 电学性能电学性能：：SSi材料材料、、选择发射极选择发射极、、Al背场背场、、钝化技术钝化技术 等等 室 光学性能：绒面技术、减反层、背面反射器、MWT 、IBC 等 光学性能的提高 电学性能的提高 1. Introduction Microstructure texture p lus Antireflection 江 江 省 苏 理 物 sc-Si cell ~ 5 % 薄 薄 科 科 mcmc-SiSi cellcell ~ 1212 %% 料 材 膜 与 学 技 技 重 重 实 点 学 术 院 院 验 验 Nanostructure texture 室 Reflection near to zero 1. Introduction