电子行业职安健手册13051安之康信息咨询中心.PDFVIP

电子产品的制造——概述 电子行业 化学品危害 （简表） A．制造晶圆 从电脑、手机、电视到玩具，我们每天使用的各种电子产品 工序 化学品/状态 影响 备注 都是由电子厂工人生产的。电子厂的生产过程既快速又紧张。工 1 切割 切削液/液体、 皮肤感到刺激、发 人经常在长时间工作中不断重复同一动作，因而出现筋肌劳损。 晶圆 烟雾 痒；发热；出疹；吸 但电子业中最危险的工作，要数那些会接触到化学品的岗位。 入烟雾导致哮喘 2 清洗 丙酮、甲醇 皮肤干燥、刺痛、发 电子业使用成千上万种化学品，其中大部份不但对人体有害， 晶圆 热 也会污染工厂所在地的河 、空气和土地。即使化学品在封闭式 过氧化氢、 防护手套：丁基橡胶 的机器内或受管制的范围内使用，远离大部份工人，但工人的健 氢氧化氨 康仍然可能在不直接接触或使用化学品的情况下受到影响。因为 氢氟酸 防护手套： 外层—氯丁橡胶 少量化学品可通过以下几种方式释放出来： 内层—丁腈橡胶 l 从机器泄漏，并在空气过滤系统中循环流动； 被烧伤的急救药品： 葡萄糖酸钙凝胶 l 工人将制品从一部机器搬到另一部机器时，化学品可能泄漏； l 化学品可积聚在工厂内外的废料系统和水系统； B．制造芯片 l 工人在清理和维修机器时，因接触机器内的化学品而患病。 工序 化学品/状态 影响 1 “绘画”图案 光阻剂 皮肤、眼睛、鼻、喉咙不适； 长期接触→胃、肝、肾出现问题 2 湿蚀刻 硝酸、乙酸、氢氟酸 3 干蚀刻（即等 氟化氢 离 蚀刻、电 浆蚀刻） 4 “种植”、“沉 氯化氢（磊晶技术） 积”薄膜 砷化氢、磷化氢、二 昏厥、麻痹、呼吸困难 硼烷、硼