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激基激光对铜膜印刷板表面微细蚀刻的初期化过程-光子学报
316 . 31 .6 Vol No 2002 6 ACTA PHOTONICA SINICAJune 2002 吴鼎祥 ( , 99 200436) 用 激基激光, 在稀释的 2 气体中对镀有铜膜的印刷板进行微细蚀刻的初期化 KrF Cl 程. 激基激光;微细蚀刻;初期化 程 0 2 2. 1 . KrF , CuClx , Cl2 . , , , , 7.2105 / , ,, s Ar 30 , 2 . 1 1 / . , 30s80s260s 600s, 30s h KrF Cl2 , 20 ,207 . 80 , . s ,, 1 260s . 600 , 25 , 1 .KrF s 248 , 20 , 128 . n Hz 2 2 , N Cl 25 . 2 Fig.2T he developing aspect fro the preli inary debris 3 5 s 900s .X , Y 1 Fig. 1Sche e of experi ental setup , Y . , , 收稿日期: 2001-09-14 6 . 763 4 3 .4
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