绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响-液晶与显示.PDFVIP

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2018-02-28 发布于天津
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绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响-液晶与显示

第卷第期液晶与显示３２　５　　 Vol．３２　No．５　　　　　　　　　　　ChineseJournalofLiuidCrstalsandDislas 年月 q y p y ２０１７５　　　 Ma ２０１７ y 文章编号: ( ) １００７Ｇ２７８０２０１７０５Ｇ０３４４Ｇ０８绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响 , , , , １２１２１２∗ １２ , , , 李欣予王若铮吴胜利李尊朝 ( , ; 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室陕西西安１．７１００４９ , ) 西安交通大学微电子学院陕西西安２．７１００４９ : ( ) , , 摘要基于半导体仿真软件 SilvacoTCAD对薄膜晶体管 TFT进行器件仿真并结合实验验证重点分析不同绝缘层材 . , , 料及结构对 TFT器件性能的影响仿真及实验所用薄膜晶体管为底栅电极结构沟道层采用非晶IGZO材料绝缘层 . : 采用和多种不同组合的叠层结构仿真及实验结果表明含有高材料的栅绝缘层叠层结构较单一绝 SiNx HfO２ k SiNx ; / / , ; 缘层结构的性能更优对栅绝缘层叠层结构取较为合适对含有高材料的 TFT SiN HfO SiN TFT HfO ４０nm k x ２ x ２ , . 层和层绝缘层叠层结构各叠层厚度相同的对称结构性能最优本文通过仿真获得了性能较优的３５ TFT TFT