现代仪器分析-电子显微部分2017.PDF

现代仪器分析 电子显微分析技术 2017.03.13 陈芳 kenobi@163.com 1 教八108 观察事物的需要电子显微镜 放大和分辨率 2 本部分的主要内容和目的： 1、了解电子与物质的交互作用以及电磁透镜分辨率的影响因素； 2、了解扫描电镜的基本结构及其工作原理，掌握原子序数衬度、表面形貌 衬度及其在材料领域的应用； 4、了解能谱仪的结构及工作原理，掌握点分析，线扫描，面分布在材料分 析中的应用； 3、了解透射电镜的基本结构和工作原理，掌握粉末样品的制备及其透射电 子显微分析； 3 瑞利判据:对于两个等光强的非相干物点,如果其一个象斑的中心恰好落在另一象斑 的边缘(第一暗纹处),则此两物点被认为是刚刚可以分辨。两艾里斑中心距小于艾 里斑半径,两象点不能分辨。 衍射屏 L 观察屏 ( 刚可分辨 不可分辨 1 艾 里  斑 ) 圆孔孔径为D f R I / I o 相对光 1 0 强曲线 0 1.22(/D ) sin 中央为亮斑,外围为一些同心亮 环.光强主要在中央亮斑区 (84%)——艾里(Airy)斑。 艾里斑 4 透镜分辨率 通常把两个Airy斑中心间距等于Airy斑半径时，物平面上 相应的两个物点间距（Δr ）定义为透镜能分辨的最小间距， 0 即透镜分辨率（也称分辨本领）。由式1-1得： 0.61