单晶炉二次增料技术与装置.PDF

第 32卷 第2期 轻工机械 Vo1．32No．2 2014年4月 LightIndustryMachinery Apr．20l4 [自控 ·检测] DOI：10．3969／j．issn．1005—2895．2014．02．Ol2 单晶炉二次增料技术与装置 王新海 ，张永军 ，李俊涛 ，宗红梅 (1．陕西国防工业职业技术学院机械工程学院，陕西 西安 710300； 2．西安华晶电子技术股份有限公司，陕西 西安 710077) 摘 要：针对单晶炉投料量不足而导致单炉产量低、石英坩埚寿命短等缺点，提出二次增料技术，并设计了单晶炉二次增 料装置的机械结构 在设计二次增料装置时，采用了一种 “无金属底盖”的设计思路 ，完成具有拉杆外置、内筒由2个半 圆筒组成为特点的结构设计。实践表明：该装置结构新颖实用、可操作性强，可使单晶炉每月单炉的产量提高20％，具 有一定的推广价值 。 关 键 词 ：单晶炉；二次增料技术；二次增料装置；单炉产量 中图分类号 ：TB472 文献标志码：B 文章编号：1005—2895(2014)02-0046-04 SecondaryCasingTechnologyandDeviceofSingleCrystalFurnace WANGXinhai，ZHANGYongjun，LIJuntao，ZONGHongmei (1．DepartmentofMechanicalEngineering，ShaanxiInstituteofTechnology，Xian710300，China； 2．XianHuajingElectronicTechnoloyg Co．，Ltd．，Xian710077，China) Abstract：ForsinglecrystalfurnaceSlow productionbythecauseofqua~zcrucibleshortlifeandothershortcomings． thestructureofsinglecrystalfurnaceand secondary casing technologywasoutlined．and then the secondary casing structurewasdesigned．Inthedesignofthesecondary casingdevice，a ”nometalbottom cover”methodwasproposed， andthemechanicalstructurewasdesignedwith characteristicsofapullrod externalcylinderand the innercylinder whichwascomposedoftwosemicylinders．Theresultsshow thatthestructureofthedeviceisnovelandpractical，and themaneuverahilityiseasy．Itcanmakethesinglecrystalfurnacemonthlyoutputincreasedby20％ ，andhasacertain popularizationvalue． Keywords：singlecrystalfurnace；secondary casingtechnology；secondary casingdevice；singlefurnaceproduction 光伏发电作为清洁能源利用的重要分支有着广阔 晶炉的产量，降低了生产成本，增加了企业的经济效益。 的前景，是本世纪新能源科学发展 的重要方 向之 1 单晶炉简介与分析 _l。J 一 。 作为光伏产业链中最重要的一环，单晶硅棒代